本文選題：Si基微結(jié)構(gòu) + RCWA��； 參考：《紅外與激光工程》2017年04期

【摘要】：采用微加工工藝在Si襯底上制備了微柱和微錐陣列,結(jié)合光學(xué)建模分析,研究了結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)中長(zhǎng)波(2.5~9μm)紅外光反射率的影響規(guī)律。使用嚴(yán)格耦合波分析方法(RCWA)計(jì)算的微結(jié)構(gòu)反射光衍射效率與傅里葉紅外變換光譜儀(FTIR)測(cè)試的反射率結(jié)果吻合較好。研究結(jié)果表明,Si基微結(jié)構(gòu)對(duì)TM及TE偏振光均有良好的紅外光減反特性,微錐結(jié)構(gòu)具有更好的減反效果,2.5~6.5μm中紅外偏振光的反射率低至2%,同時(shí)表現(xiàn)出良好的寬譜與廣角度減反特性。
[Abstract]:Microcolumns and microtaper arrays were fabricated on Si substrates by microfabrication. The effect of structural parameters on infrared reflectance of medium long wavelength (LWV) 2.59 渭 m was studied by optical modeling and analysis. The diffraction efficiency calculated by using the strictly coupled wave analysis method (RCWA) is in good agreement with the reflectivity measured by Fourier transform Spectrometer (FTIR). The results show that Si-based microstructures have good infrared light reflectivity to TM and te polarized light, and microcone structure has better antireflection effect. The reflectivity of infrared polarized light in 2.5 渭 m is as low as 2. 5 渭 m. At the same time, it shows good wide spectrum and wide angle reflectance reduction characteristics.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所;西安交通大學(xué)金屬材料強(qiáng)度國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：中科院百人計(jì)劃(Y6BEQ11001)
【分類(lèi)號(hào)】：TN21

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本文編號(hào)：1868222