本文選題：超精密加工 + 精密測量儀器��； 參考：《實驗技術(shù)與管理》2017年07期

【摘要】：實驗室不僅需要配置高水平的超精密加工裝備,還需要相應(yīng)的精密測量儀器。如何正確而有效地利用加工裝備和測量儀器,是超精密加工技術(shù)專業(yè)本科生和研究生必須掌握的能力。利用白光干涉儀和掃描電子顯微鏡在超精密加工機理研究中的應(yīng)用,分析精密測量儀器在超精密加工實驗室中的重要作用,提出一個具體的方案解決目前精密儀器數(shù)量少而學(xué)生多的實際問題。
[Abstract]:The laboratory not only needs to be equipped with high-level ultra-precision machining equipment, but also needs the corresponding precision measuring instruments. How to use processing equipment and measuring instruments correctly and effectively is the ability of undergraduate and graduate students majoring in ultra-precision machining technology. Based on the application of white light interferometer and scanning electron microscope in the study of ultra-precision machining mechanism, the importance of precision measuring instruments in ultra-precision machining laboratory is analyzed. This paper puts forward a concrete solution to the practical problem of the small number of precision instruments and the large number of students.
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點實驗室;廣東工業(yè)大學(xué)廣東省創(chuàng)新方法與決策管理系統(tǒng)重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(51205067) 廣東省本科高校教學(xué)質(zhì)量與教學(xué)改革工程項目(粵教高函[2016]233號)
【分類號】：G642;TH744.3;TN16

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：1854732