本文選題：石英微機械 + 陀螺�。� 參考：《壓電與聲光》2017年03期

【摘要】：石英微機械陀螺敏感芯片通常采用雙端音叉結(jié)構(gòu),驅(qū)動音叉和檢測音叉的振動耦合誤差是其主要誤差源。對雙端音叉結(jié)構(gòu)陀螺敏感芯片進行了結(jié)構(gòu)解耦設計仿真,分析了芯片安裝區(qū)對檢測音叉振動特性的影響。通過解耦設計,減小了零偏誤差信號,提高了陀螺敏感芯片的穩(wěn)定性。
[Abstract]:The quartz micro - mechanical gyro sensitive chip usually adopts a double - end tuning fork structure , and the vibration coupling error of the driving fork and the detection tuning fork is the main error source . The structure decoupling design simulation is carried out on the sensitive chip of the double - end tuning fork structure gyro , and the influence of the chip mounting area on the detection of the vibration characteristics of the tuning fork is analyzed .

【作者單位】： 中國電子科技集團公司第二十六研究所;
【分類號】：TN402;TN96

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本文編號：1836722