本文選題：晶圓制造系統(tǒng) + 工業(yè)大數(shù)據(jù)�。� 參考：《計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)》2017年10期

【摘要】：加工周期是晶圓制造系統(tǒng)的關(guān)鍵指標(biāo),對(duì)于進(jìn)行準(zhǔn)確的預(yù)測(cè)分析有助于幫助制定有效的調(diào)度排產(chǎn)計(jì)劃。利用晶圓智能制造系統(tǒng)的工業(yè)大數(shù)據(jù)提取出有效信息,提出了基于工業(yè)大數(shù)據(jù)的晶圓加工周期預(yù)測(cè)方法框架;針對(duì)生產(chǎn)線狀態(tài)會(huì)隨時(shí)間推移動(dòng)態(tài)變化、生產(chǎn)數(shù)據(jù)生命周期的問(wèn)題,設(shè)計(jì)了預(yù)測(cè)模型的動(dòng)態(tài)更新機(jī)制;考慮到生產(chǎn)線數(shù)據(jù)記錄不準(zhǔn)確的情況,比較了多種回歸算法,以實(shí)例驗(yàn)證了所提方法的有效性。
[Abstract]:The processing cycle is the key index of the wafer manufacturing system . For the accurate prediction analysis , it is helpful to help formulate an effective scheduling scheduling plan . By using the industrial large data of the wafer intelligent manufacturing system to extract the effective information , a frame for predicting the wafer processing period based on the industrial large data is put forward , and the dynamic updating mechanism of the prediction model is designed according to the dynamic change of the production line state over time , and a plurality of regression algorithms are compared in consideration of the inaccurate record of the production line data , and the validity of the proposed method is verified by an example .

【作者單位】： 同濟(jì)大學(xué)CIMS研究中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金重大資助項(xiàng)目(71690234)~~
【分類號(hào)】：TN305

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 Bill McClean;;可否向450mm晶圓制造進(jìn)軍[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2007年11期

2 李友;江志斌;李娜;李程;;晶圓制造系統(tǒng)投料策略綜述[J];工業(yè)工程與管理;2011年06期

3 張懷;江志斌;郭乘濤;;面向瓶頸的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)派工策略及參數(shù)優(yōu)化[J];上海交通大學(xué)學(xué)報(bào);2007年08期

4 寧凝;錢(qián)省三;孟志雷;;仿真技術(shù)在晶圓制造光刻區(qū)派工中的應(yīng)用[J];半導(dǎo)體技術(shù);2007年09期

5 李衍飛;江志斌;;半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)的時(shí)變多目標(biāo)生產(chǎn)調(diào)度優(yōu)化[J];上海交通大學(xué)學(xué)報(bào);2008年02期

6 陳征;;晶圓制造中的自動(dòng)化管理[J];中國(guó)高新技術(shù)企業(yè);2013年17期

7 潘峰,錢(qián)省三;半導(dǎo)體晶圓制造中產(chǎn)量與生產(chǎn)周期的優(yōu)化方法[J];半導(dǎo)體技術(shù);2004年02期

8 江志斌;張懷;劉惠然;;基于自治與協(xié)調(diào)的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)實(shí)時(shí)派工方法[J];工業(yè)工程與管理;2006年06期

9 郭永輝;馮媛;錢(qián)省三;;多重入晶圓制造廠整合式生產(chǎn)控制系統(tǒng)建模[J];工業(yè)工程;2007年05期

10 周炳海;石瀟銘;;帶重入約束的雙集束型晶圓制造設(shè)備調(diào)度算法[J];東北大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2013年09期

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前1條

1 田志薈 編;Burns:2007年晶圓制造產(chǎn)能增加17%[N];中國(guó)電子報(bào);2006年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 郭乘濤;基于問(wèn)題分解與蟻群算法的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)調(diào)度方法的研究[D];上海交通大學(xué);2012年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前5條

1 賈林林;半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)的瓶頸管理及調(diào)度優(yōu)化研究[D];天津理工大學(xué);2017年

2 花海常;晶圓制造過(guò)程中光敏型聚酰亞胺的應(yīng)用及制程改良[D];復(fù)旦大學(xué);2008年

3 李程;半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)（SWFS）爐管區(qū)組批派工策略研究[D];上海交通大學(xué);2011年

4 劉賽;含駐留時(shí)間約束的集束型制造設(shè)備群的周期調(diào)度研究[D];上海交通大學(xué);2012年

5 付虎;半導(dǎo)體制造中具有重入的雙臂組合設(shè)備的調(diào)度與仿真[D];廣東工業(yè)大學(xué);2013年

，

本文編號(hào)：1810173