本文選題：量值傳遞 + 刻蝕工藝��； 參考：《微納電子技術》2017年12期

【摘要】：介紹了納米幾何量量值傳遞中納米標準樣版的計量與溯源特性。分析了微納米測量儀器在納米標準樣版幾何參量校準中對標準樣版循跡結構的具體需求。設計了標準值為60 nm,具有可循跡結構的納米臺階標準樣版。為了實現(xiàn)高精度、溯源性表征,基于計量型納米測量儀(NMM),結合多種定位測量方法,對加工的納米臺階標準樣版進行測量與評價,并對其開展區(qū)域均勻性和長時間穩(wěn)定性實驗。實驗結果表明,制備的臺階標準樣版高度值與設計值基本一致,設計的循跡結構能有效地協(xié)助電荷耦合器件(CCD)實現(xiàn)快速循跡與定位,且采用濺射鍍膜工藝優(yōu)化了標準樣版表面結構的特性,使多種定位測量方法的測量重復性標準偏差均小于1 nm。
[Abstract]:The metrology and traceability of nanoscale standard plate in the transmission of nanometer geometric quantities are introduced. In this paper, the requirements of the micrometer for the calibration of the geometric parameters of the nanoscale template are analyzed. A standard plate with a traceable structure of nanoscale steps was designed with a standard value of 60 nm. In order to achieve high accuracy and traceability characterization, based on the metrological nano-meter NMMM, combined with a variety of positioning and measurement methods, the standard plate of nanoscale steps was measured and evaluated, and the regional homogeneity and long-time stability experiments were carried out. The experimental results show that the height of the step standard plate is basically the same as the designed value, and the designed track structure can effectively assist the charge coupled device (CCD) to realize fast tracking and positioning. The characteristics of the surface structure of the standard sample plate were optimized by sputtering coating process, and the repeatability standard deviation of various measurement methods was less than 1 nm.
【作者單位】： 中國計量大學;上海市計量測試技術研究院;中國電子科技集團公司第十三研究所;
【基金】：國家重大儀器專項資助項目(2014YQ090709)
【分類號】：TB383.1;TN386.5

【相似文獻】

相關博士學位論文 前10條

1 張正飛;一維氧化鎢納米材料無催化劑生長的原位透射電鏡研究[D];浙江大學;2017年

2 劉敬東;銅納米顆粒合成及其低溫燒結互連行為研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2017年

3 趙婕;基于單根金屬氧化物一維微/納米線的雙電極結構器件的性能研究[D];南昌大學;2017年

4 吳捷;PET基材納米吸墨材料的制備及性能研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2017年

5 劉方;納米顆粒改性環(huán)氧樹脂及其復合材料力學性能研究[D];哈爾濱工程大學;2014年

6 袁文濤;外場環(huán)境下納米晶表面行為的原位電子顯微學研究[D];浙江大學;2017年

7 劉旭松;鍺基納米材料的制備及其電化學性能研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2017年

8 蔡斌;三元金屬氧化物納米材料制備及其在糖尿病檢測和治療的應用研究[D];浙江大學;2017年

9 蔣瑩瑩;液體透射電鏡技術對于金屬納米晶生長、刻蝕的原位研究[D];浙江大學;2017年

10 任亞濤;金納米顆粒光熱參數(shù)重建及其在激光誘導熱療中的應用[D];哈爾濱工業(yè)大學;2017年

相關碩士學位論文 前10條

1 朱笑天;金納米棒的制備與修飾及其在環(huán)境污染物檢測中的應用[D];鄭州大學;2017年

2 任健;面向太陽能燃料制備的納米異質(zhì)結材料的研究[D];天津大學;2016年

3 馬攀攀;高溫處理對稀土摻雜納米顆粒上轉換發(fā)光性能的影響[D];鄭州大學;2017年

4 常遠;三元ZnS_xSe_(1-x)納米線的可控制備及光電性能研究[D];鄭州大學;2017年

5 吳子見;光激活Ag/ZnO納米結構傳感器的氣敏特性研究[D];鄭州大學;2017年

6 張校飛;三聯(lián)吡啶衍生物復合硫化物光電材料的制備及性質(zhì)研究[D];鄭州大學;2017年

7 楊杰杰;SnO_2基納米材料的制備及其氣敏特性研究[D];鄭州大學;2017年

8 胡雅晰;(In,Ga)_2Se_3納米晶溶液合成及其黃銅礦Cu(In,Ga)Se_2成相應用[D];天津大學;2016年

9 張臻臻;LLDPE/Nano-ZnO/CCA納米復合強抗菌薄膜的制備及表征[D];鄭州大學;2017年

10 高艷紅;靜電紡納米纖維誘導同質(zhì)及非同質(zhì)聚合物界面結晶行為研究[D];鄭州大學;2017年

，

本文編號：1809303