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熔石英光學元件納米劃痕亞表面損傷特性

發(fā)布時間:2018-04-21 19:19

  本文選題:熔石英 + 激光損傷閾值; 參考:《納米技術(shù)與精密工程》2017年01期


【摘要】:為了實現(xiàn)熔石英光學元件激光損傷閾值的提升,本文分析了劃痕對熔石英激光損傷的影響,利用納米壓痕實驗區(qū)分塑脆劃痕,通過時域有限差分(FDTD)算法仿真給出不同深度、不同寬深比的劃痕對光場調(diào)制的影響結(jié)果,最后選取典型劃痕進行R-on-1激光閾值測試實驗.結(jié)果表明,深度在53 nm以下的塑性劃痕對激光損傷無影響,處于塑脆轉(zhuǎn)變階段的劃痕有一定幾率誘導(dǎo)損傷,脆性劃痕處損傷閾值遠遠低于基底閾值,僅為基底閾值的43.1%,是降低光學元件激光損傷閾值的重要因素.實驗數(shù)據(jù)與理論仿真具有一致性.
[Abstract]:In order to improve the laser damage threshold of fused quartz optical elements, the effect of scratch on laser damage of fused quartz is analyzed in this paper. The effects of different aspect ratio scratches on the light field modulation are investigated. Finally, the typical scratches are selected for the R-on-1 laser threshold measurement experiment. The results show that plastic scratches with depth below 53 nm have no effect on laser damage. Scratches in the brittle transition stage have a certain probability to induce damage, and the damage threshold at brittle scratches is much lower than the threshold of substrate. It is only 43.1 of the substrate threshold, which is an important factor to reduce the laser damage threshold of optical elements. The experimental data are consistent with the theoretical simulation.
【作者單位】: 國防科學技術(shù)大學機電工程與自動化學院;
【分類號】:TN249

【參考文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號:1783770

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