本文選題：紅外探測器 + 銻化銦(In��； 參考：《紅外技術(shù)》2016年04期

【摘要】：分析了光伏In Sb探測器響應(yīng)時(shí)間與量子效率、反向飽和電流的關(guān)系,設(shè)計(jì)出量子效率為0.61~0.56、響應(yīng)時(shí)間為20~60 ps的銻化銦(In Sb)紅外探測器,實(shí)驗(yàn)制備了臺面p~+-on-n結(jié)構(gòu)的探測器。通過I-V、C-V測試驗(yàn)證了制備的器件物理參數(shù)與設(shè)計(jì)值吻合。采用脈沖響應(yīng)測試了In Sb探測器的響應(yīng)時(shí)間(0.3μs),由于封裝和其他分布電容的限制,響應(yīng)時(shí)間測試值與理論計(jì)算值存在差距。
[Abstract]:The relationship between response time and quantum efficiency and reverse saturation current of photovoltaic in Sb detector is analyzed. A detector with quantum efficiency of 0.61g 0.56 and response time of 206ps is designed. The detector with p-on-n structure is fabricated experimentally.The physical parameters of the fabricated devices are in good agreement with the designed values.The response time of in SB detector has been measured by pulse response. Due to the limitation of encapsulation and other distributed capacitors, the response time of the detector is different from that of the theoretical calculation.
【作者單位】： 昆明物理研究所;
【分類號】：TN215

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本文編號：1772013