本文選題：極紫外光刻 + 液滴噴射靶��； 參考：《華中科技大學(xué)》2015年碩士論文

【摘要】：為了制造出集成度更高的芯片,下一代光刻技術(shù)要求更短波長的極紫外(EUV)光源,激光等離子體(LPP)技術(shù)目前被認(rèn)為是最可能的選擇。在研究和制備激光等離子體極紫外光源時(shí),得到良好的錫液滴靶是其中重要的一步。錫液滴靶是通過振動對射流進(jìn)行擾動,使錫流連續(xù)均勻斷裂得到的。本論文實(shí)驗(yàn)?zāi)康脑谟诶盟鳛榘胁哪M錫液滴噴射的產(chǎn)生、控制和檢測,檢驗(yàn)出整個(gè)噴射靶發(fā)生器和檢測分析系統(tǒng)的實(shí)際可行性,從而為將來產(chǎn)生實(shí)用的錫液滴靶打下基礎(chǔ)。本論文的主要研究了一套用于激光等離子體極紫外光源的液滴噴射靶發(fā)生器和液滴檢測分析系統(tǒng)。液滴噴射靶發(fā)生裝置穩(wěn)定可靠,操作方便,噴射出的液滴能夠均勻穩(wěn)定斷裂。利用Lab VIEW軟件調(diào)用和控制CCD攝像頭,通過調(diào)用動態(tài)鏈接庫使CCD完成液滴圖像的采集和顯示,實(shí)時(shí)監(jiān)測液滴的運(yùn)動情況,再完成圖像的批量存儲。保存的液滴圖像將由MATLAB軟件進(jìn)行分析計(jì)算,得到液滴尺寸、位置、間距等參數(shù),可以定量地評估液滴噴射的質(zhì)量和穩(wěn)定性。實(shí)驗(yàn)比較了幾種類型噴嘴的噴射水液滴效果,并采用金屬拉絲模噴嘴在不同條件下噴射出重復(fù)頻率30 kHz的水液滴靶材,CCD攝像頭以5 Hz頻率采集液滴圖像。經(jīng)分析批量存儲的圖像得到了液滴尺寸、間距和水平方向位置等信息,并且得到了各項(xiàng)參數(shù)在不同條件下的變化趨勢。尺寸、間距較小,證明水液滴靶噴射穩(wěn)定且均勻;但水平方向位置有一定偏差,表明液滴噴射存在一定的左右擺動。
[Abstract]:In order to produce a more integrated chip, the next generation lithography technology requires a shorter wavelength of the very ultraviolet (VUV) EUV light source. Laser plasma / LPP (laser plasma) technology is considered to be the most likely choice at present.It is an important step to obtain a good tin droplet target in the study and preparation of laser plasma extreme ultraviolet light source.The tin droplet target is obtained by the vibration disturbance of the jet and the continuous uniform fracture of the tin flow.The purpose of this paper is to use water as a target to simulate the generation, control and detection of droplet injection, and to verify the feasibility of the whole jet target generator and the detection and analysis system, thus laying the foundation for the future production of practical tin droplet targets.In this paper, a droplet jet target generator and a droplet detection and analysis system for laser plasma extreme ultraviolet light source are studied.The droplet injection target generating device is stable and reliable, easy to operate, and the droplet can break evenly and stably.The Lab VIEW software is used to call and control the CCD camera. By calling the dynamic link library, the CCD can complete the collection and display of the droplet image, monitor the droplet motion in real time, and then finish the batch storage of the image.The saved droplet image will be analyzed and calculated by MATLAB software, and the parameters of droplet size, position and spacing can be obtained, which can quantitatively evaluate the quality and stability of droplet injection.The effects of spray droplets of several kinds of nozzles were compared experimentally, and the droplet images were collected at 5 Hz by using metal wire drawing die nozzles to spray water droplet targets with a repetition rate of 30 kHz under different conditions.The size, spacing and horizontal position of the droplet are obtained by analyzing the images stored in batches, and the variation trend of the parameters under different conditions is obtained.It is proved that the injection of water droplet target is stable and uniform, but there is a certain deviation in the horizontal direction, which indicates that the droplet jet has a certain swing from left to right.
【學(xué)位授予單位】：華中科技大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TN305.7

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