發(fā)布時(shí)間：2018-04-04 05:13

  本文選題：石英半球型微諧振器　切入點(diǎn)：半球諧振陀螺　出處：《壓電與聲光》2017年04期

【摘要】：該文對石英半球型微諧振器進(jìn)行了模態(tài)仿真,分析了前十階振型及適合陀螺工作的模態(tài),討論了諧振器壁厚變化對四波腹模態(tài)諧振頻率的影響。利用吹玻璃法和濕法腐蝕制作了石英半球型微諧振器,跟蹤不同的腐蝕速率得出濕法腐蝕可精確控制壁厚的結(jié)論。測試腐蝕后的諧振器表面粗糙度僅為0.581nm,保留了原子級別的光滑度。
[Abstract]:In this paper, the modal simulation of quartz hemispherical microresonator is carried out. The first ten modes and the mode suitable for gyroscope are analyzed, and the influence of the thickness of the resonator on the resonant frequency of four-wave abdomen mode is discussed.Quartz hemispherical microresonators were fabricated by glass blowing and wet etching. The conclusion that the wall thickness could be accurately controlled by wet etching was obtained by tracking different corrosion rates.The measured surface roughness of the resonator is only 0.581nm, which retains the atomic level of smoothness.
【作者單位】： 上海交通大學(xué)微納電子學(xué)系微米/納米加工技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61574093) 航空基金資助項(xiàng)目(2013ZC57003)
【分類號】：TN629.1

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號：1708515