發(fā)布時(shí)間：2018-04-03 14:04

  本文選題：紅外熱成像　切入點(diǎn)：紅外探測(cè)器　出處：《紅外技術(shù)》2017年11期

【摘要】：紅外顯微熱成像系統(tǒng)基于紅外熱成像、紅外圖像處理和光學(xué)顯微技術(shù),能夠分析微小物體或局部細(xì)節(jié)的溫度變化,具有無(wú)損檢測(cè)、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)紅外顯微熱成像系統(tǒng)的研究背景進(jìn)行了概括,介紹了它的基本原理和系統(tǒng)組成,總結(jié)了紅外顯微熱成像系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀及其在微電子器件檢測(cè)、醫(yī)學(xué)診斷、科學(xué)實(shí)驗(yàn)研究等方面的應(yīng)用進(jìn)展,對(duì)其存在的問題進(jìn)行了分析,并且展望了紅外顯微熱成像系統(tǒng)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。
[Abstract]:Infrared microscopic thermal imaging system is based on infrared thermal imaging, infrared image processing and optical microscopy technology, which can analyze the temperature change of small objects or local details, and has the advantages of nondestructive testing and high sensitivity.In this paper, the research background of infrared micro-thermal imaging system is summarized, and its basic principle and system composition are introduced. The research status of infrared micro-thermal imaging system and its application in microelectronic device detection and medical diagnosis are summarized.The development of scientific experimental research and its problems are analyzed, and the future development trend of infrared microthermal imaging system is prospected.
【作者單位】： 上海交通大學(xué)微米/納米加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;上海交通大學(xué)納微能源研究所;上海交通大學(xué)微納電子學(xué)系;云南北方馳宏光電有限公司;
【基金】：云南省科技廳省院省校科技合作專項(xiàng)(2014IB007) 國(guó)家自然科學(xué)基金(5177060654) 云南省胡志宇專家工作站(編號(hào):云科合發(fā)[2014]5號(hào))
【分類號(hào)】：TN216

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10 曹文浩;基于紅外熱成像的內(nèi)部孔洞缺陷檢測(cè)方法研究[D];中國(guó)計(jì)量學(xué)院;2013年

本文編號(hào)：1705508