本文選題：亞波長(zhǎng)高對(duì)比度光柵　切入點(diǎn)：波前調(diào)控器　出處：《光子學(xué)報(bào)》2017年10期

【摘要】：基于嚴(yán)格耦合波分析法分析了亞波長(zhǎng)光柵波前調(diào)控的方法,設(shè)計(jì)了具有凸透鏡、錐透鏡和閃耀光柵功能的三種亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu),以平面方式制備了具有聚焦和閃耀效果的三種微納結(jié)構(gòu)波前調(diào)控器.計(jì)算了不同光柵厚度、光柵齒和光柵槽寬度下的光柵透射率,通過(guò)選擇合適光柵參數(shù)組合,得到三種波前調(diào)控器透射率均在97%以上.硅基平面結(jié)構(gòu)與常規(guī)結(jié)構(gòu)器件性能相比,平面和常規(guī)透鏡、錐透鏡在聚焦效果上,焦斑的半高全寬近似相等,峰值強(qiáng)度提高了1.64和2.35倍;平面相對(duì)常規(guī)閃耀光柵的峰值強(qiáng)度提高了3.77倍.
[Abstract]:Based on the rigorous coupled wave analysis method, three subwavelength grating structures with the functions of convex lens, conical lens and blazed grating are designed. Three kinds of micro-and nano-structure wavefront regulators with focusing and blazing effects are fabricated in a planar manner. The grating transmittance under different grating thickness, grating tooth and grating slot width is calculated, and the appropriate grating parameter combination is selected. The transmittance of the three wavefront regulators is all over 97%. Compared with the conventional structure, the focal spot in the plane lens and the conical lens is approximately equal in half height full width compared with the conventional structure. The peak intensity is 1.64 and 2.35 times higher than that of the conventional blazed grating and 3.77 times higher than that of the conventional blazed grating.
【作者單位】： 贛南師范大學(xué)物理與電子信息學(xué)院;北京工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)院光子器件研究實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(No.61650404) 江西省教育廳科技項(xiàng)目(GJJ150998) 贛南師范大學(xué)校級(jí)科研課題(Nos.13kyz12,16zb04)資助~~
【分類(lèi)號(hào)】：TN25

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