本文選題：極紫外光刻機(jī)　切入點(diǎn)：碳污染　出處：《光學(xué)精密工程》2017年11期

【摘要】：針對(duì)極紫外(EUV)光刻機(jī)工作過程中,多層膜反射鏡表面沉積碳污染造成的反射率下降問題展開研究,討論了多層膜反射鏡表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光過程中多層膜表面的碳污染形成過程,簡(jiǎn)單闡述了碳污染對(duì)多層膜反射鏡的危害。然后從清洗機(jī)理、速率以及效果等方面詳細(xì)描述了多種EUV多層膜表面碳污染清洗方法,分析對(duì)比了各清洗技術(shù)在清洗速率和效果等方面的優(yōu)缺點(diǎn)。分析表明:離子體氧和活化氧清洗速率相差不多,可達(dá)到2nm/min,但清洗過程中容易造成表面氧化;等離子體氫和原子氫的清洗速率相對(duì)較慢,一般在0.37nm/min左右,但清洗過程中不易產(chǎn)生氧化。最后針對(duì)不同方法應(yīng)用于在線清洗EUV多層膜反射鏡過程中將遇到的問題和難點(diǎn)進(jìn)行了討論。
[Abstract]:In this paper, the reduction of reflectance caused by carbon pollution on the surface of multilayer mirror is studied in the course of working on the ultra-ultraviolet (UV) EUV lithography machine. The cleaning method of carbon pollution on the surface of multilayer mirror is discussed. Firstly, the formation process of carbon pollution on the surface of multilayer film during EUV exposure is described, and the harm of carbon pollution to multilayer mirror is briefly described. The cleaning methods of carbon pollution on the surface of EUV multilayer membrane are described in detail in terms of rate and effect. The advantages and disadvantages of each cleaning technology in cleaning rate and effect are analyzed and compared. The results show that the cleaning rate of ion body oxygen is not different from that of activated oxygen, which can reach 2 nm / min, but it is easy to cause surface oxidation during cleaning process. The cleaning rate of plasma hydrogen and atomic hydrogen is relatively slow, generally around 0.37nm/min. However, it is difficult to produce oxidation in the process of cleaning. Finally, the problems and difficulties that will be encountered in the process of on-line cleaning EUV multilayer mirror with different methods are discussed.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.2012ZX02702001) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.61404139) 應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室自主基金資助項(xiàng)目(No.Y5743FQ158) 吉林省重點(diǎn)科技成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目(No.20150307039GX)
【分類號(hào)】：TN23

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本文編號(hào)：1692241