本文選題：光學(xué)鏡片　切入點(diǎn)：光機(jī)熱集成分析　出處：《華中科技大學(xué)》2015年碩士論文

【摘要】：光刻機(jī)投影物鏡光學(xué)鏡片作為曝光系統(tǒng)的核心部件,其精度要求極高,常用的分析方法是將光學(xué)鏡片的光機(jī)熱分析采用專業(yè)軟件進(jìn)行分析。但不同軟件之間模型或數(shù)據(jù)的交互可能會(huì)引起部分?jǐn)?shù)據(jù)丟失,從而引起分析結(jié)果偏差。因而需要一種對(duì)鏡片光機(jī)熱進(jìn)行集成分析的方法來(lái)完成各種分析類型之間的數(shù)據(jù)交互,從而實(shí)現(xiàn)鏡片的整個(gè)分析過(guò)程,縮短設(shè)計(jì)周期。本文通過(guò)對(duì)光學(xué)鏡片分析過(guò)程中的機(jī)械結(jié)構(gòu)分析、熱分析、光學(xué)分析過(guò)程進(jìn)行簡(jiǎn)單介紹并細(xì)致地闡述了它們之間的耦合關(guān)系,列出了光機(jī)熱集成分析結(jié)果評(píng)價(jià)方法。從而提出一種實(shí)現(xiàn)鏡片光機(jī)熱集成分析的方法:基于ModelCenter的流程集成分析,另外通過(guò)C++Builder開(kāi)發(fā)環(huán)境設(shè)計(jì)輔助軟件來(lái)完善流程分析的功能。根據(jù)提出的方案,實(shí)現(xiàn)了鏡片光機(jī)熱分析模型的參數(shù)化,建立了基于ModelCenter的鏡片光機(jī)熱參數(shù)化集成分析流程,實(shí)現(xiàn)了分析過(guò)程中不同分析類型之間數(shù)據(jù)的交互及過(guò)程的自動(dòng)化,得到了鏡片光學(xué)分析特性圖。同時(shí)開(kāi)發(fā)的輔助軟件完善了流程集成分析的功能,為鏡片光機(jī)熱分析過(guò)程提供了方便的操作界面。用戶根據(jù)需要設(shè)置和修改分析過(guò)程中的參數(shù),選擇合適的分析類型,運(yùn)行結(jié)束后可直觀查看對(duì)應(yīng)的分析結(jié)果。
[Abstract]:As the core component of the exposure system, the projection objective lens of lithography machine requires very high precision. The commonly used analysis method is to use professional software to analyze the optical thermal analysis of optical lenses. However, the model or data interaction between different software may cause some data loss. Therefore, an integrated analysis method is needed to complete the data exchange between various types of analysis, so as to realize the whole analysis process of the lens. In this paper, the mechanical structure analysis, thermal analysis and optical analysis process of optical lens are briefly introduced and the coupling relationship between them is described in detail. In this paper, the evaluation method of thermal integration analysis result of optical machine is listed, and a method to realize thermal integration analysis of optical optical machine is put forward: process integration analysis based on ModelCenter, In addition, the function of flow analysis is improved by C Builder development environment design assistant software. According to the proposed scheme, the parameterization of thermal analysis model of lens optical machine is realized, and the integrated analysis flow of thermal parameterization of lens optical machine based on ModelCenter is established. The data exchange among different analysis types and the automation of the process are realized, and the optical analysis characteristic diagram of the lens is obtained. At the same time, the auxiliary software is developed to perfect the function of process integration analysis. The user sets and modifies the parameters in the analysis process according to the need, and selects the appropriate analysis type. After running, the corresponding analysis results can be viewed intuitively.
【學(xué)位授予單位】：華中科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TN305.7

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本文編號(hào)：1673880