壓電偏擺臺(tái)的復(fù)合控制
本文選題:遲滯 切入點(diǎn):壓電偏擺臺(tái) 出處:《壓電與聲光》2017年01期
【摘要】:由于壓電陶瓷具有遲滯效應(yīng),為了更好地控制壓電偏擺臺(tái),減少遲滯效應(yīng)對(duì)控制系統(tǒng)的影響,首先通過(guò)坐標(biāo)變換對(duì)偏擺臺(tái)建立了Prandtl-Ishlinskii(PI)遲滯模型,然后求解其逆模型,并設(shè)計(jì)前饋控制器,使輸入、輸出角度間具有較好的線性關(guān)系。最后在此基礎(chǔ)上進(jìn)行比例-積分-微分(PID)反饋控制,構(gòu)成復(fù)合控制系統(tǒng),大幅度提高了定位精度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,最大定位誤差為2.2μrad,具有良好的控制效果。
[Abstract]:Due to the hysteresis effect of piezoelectric ceramics, in order to control the piezoelectric yaw table better and reduce the effect of hysteresis effect on the control system, the Prandtl-Ishlinskii PI- hysteresis model is established by coordinate transformation, and then the inverse model is solved. The feedforward controller is designed so that the input and output angles have a good linear relationship. Finally, the proportional integral-differential PID-feedback control is carried out on this basis to form a compound control system. The experimental results show that the maximum positioning error is 2.2 渭 radand which has a good control effect.
【作者單位】: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué)研究生院;
【基金】:吉林省重大科技攻關(guān)專項(xiàng)基金資助項(xiàng)目(No.20126015)
【分類號(hào)】:TN384
【參考文獻(xiàn)】
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【共引文獻(xiàn)】
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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】
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,本文編號(hào):1657623
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