底表面光柵結(jié)構(gòu)對于紅外熱探測器效率影響的研究
本文選題:非制冷 切入點:紅外探測器 出處:《人工晶體學(xué)報》2017年04期 論文類型:期刊論文
【摘要】:紅外熱探測器利用敏感材料的電學(xué)特性,將吸收的熱量轉(zhuǎn)化為電信號由檢測電路檢出,但其吸收效率并不理想。利用底表面光柵結(jié)構(gòu)的大反射率特性,促進(jìn)紅外探測器結(jié)構(gòu)的二次吸收,可有效提高探測器的吸收效率。基于電磁場理論,分析了結(jié)構(gòu)參數(shù)對紅外光學(xué)吸收的影響,利用數(shù)值模擬的方法,并通過結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化使吸收結(jié)構(gòu)在整個波長范圍內(nèi)平均吸收效率提高了近一倍。
[Abstract]:The infrared thermal detector uses the electrical properties of sensitive materials to convert the absorbed heat into electrical signals detected by the detection circuit, but its absorption efficiency is not ideal. The absorption efficiency of the detector can be improved effectively by promoting the secondary absorption of the infrared detector structure. Based on the electromagnetic field theory, the influence of the structure parameters on the infrared optical absorption is analyzed, and the method of numerical simulation is used. By optimizing the structure parameters, the average absorption efficiency of the absorption structure in the whole wavelength range is nearly doubled.
【作者單位】: 渤海大學(xué)新能源學(xué)院;
【基金】:國家自然科學(xué)基金(11304020)
【分類號】:TN215
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,本文編號:1604159
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