本文選題：非制冷　切入點：紅外焦平面　出處：《紅外技術(shù)》2017年09期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：研制出一款640×512高性能17μm非制冷氧化釩紅外焦平面探測器。讀出電路輸入級采用鏡像電路獲得盲像元(Rd)和感光像元(Rs)電流差的積分電流(Iint),并能夠有效抑制輸入偏壓噪聲;同時采用逐行積分、逐列讀出模式。氧化釩采用單層微橋工藝;像元橋臂間距縮至0.8mm,以盡可能增大橋面及VO_x面積,有效提高像元響應(yīng)率。器件采用高可靠性的金屬真空封裝。測試結(jié)果表明,器件的噪聲等效溫差(NETD)小于45 m K,響應(yīng)率大于15 m V/K,熱響應(yīng)時間小于10 ms。
[Abstract]:A 640 脳 512 high performance 17 渭 m uncooled vanadium oxide infrared focal plane detector has been developed. The input stage of the readout circuit uses a mirror image circuit to obtain the integral current of the difference between blind pixel Rd and photosensitive pixel Rs. and it can effectively suppress the input bias noise. At the same time, line by line integral and row by row readout mode are used. Vanadium oxide is fabricated by single-layer microbridge process. The distance between the arms of the pixel bridge is reduced to 0.8 mm to maximize the area of the bridge deck and VO_x. The device adopts high reliability metal vacuum package. The test results show that the noise equivalent temperature difference (NETD) of the device is less than 45m KK, the responsivity is more than 15mV / Kand the thermal response time is less than 10ms.
【作者單位】： 北方廣微科技有限公司;昆明物理研究所;
【分類號】：TN215

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本文編號：1598074