本文選題：nm準(zhǔn)分子激光器　切入點(diǎn)：整形激光　出處：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》2016年04期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：為了實(shí)現(xiàn)193 nm準(zhǔn)分子激光器激光整形及均勻化,制作一種微透鏡陣列光學(xué)元件。本文采用L_93~3多因子正交方法進(jìn)行實(shí)驗(yàn),獲得3因子3水平下壓縮模塑成型的微透鏡陣列。通過(guò)Taylor Hobson輪廓儀測(cè)量微透鏡陣列形狀誤差,并采用極差分析方法分析模具溫度、保壓壓力、冷卻時(shí)間3種工藝參數(shù)對(duì)形狀誤差的影響程度,確定微透鏡陣列光學(xué)元件的最優(yōu)工藝參數(shù)組合。結(jié)果表明:當(dāng)模具溫度為230℃,保壓壓力為120 MPa,冷卻時(shí)間為30 s時(shí),微透鏡的形狀誤差最好,值為0.5276μm,滿(mǎn)足193 nm準(zhǔn)分子激光器激光整形及均勻化對(duì)微透鏡陣列形狀誤差小、精度高等要求。
[Abstract]:In order to achieve the 193 nm excimer laser shaping and homogenization, making a micro lens array optical element. This paper adopts L_93~3 multi factor orthogonal experiment method, 3 factors and 3 levels of compression molding of micro lens array Taylor Hobson. By measuring the profile of micro lens array shape error, and using the methods of range analysis analysis of die temperature, pressure, influence of process parameters on the cooling time of 3 kinds of shape error, to determine the optimal combination of process parameters of microlens array optical element. The results show that when the mold temperature is 230 DEG C, holding pressure is 120 MPa, the cooling time is 30 s, the shape error of the micro lens for the best value 0.5276 m, meet the 193 nm excimer laser laser shaping and homogenization of micro lens array shape error is small, high accuracy requirements.

【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金合作項(xiàng)目(11474037)
【分類(lèi)號(hào)】：TN248

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本文編號(hào)：1597998