本文關(guān)鍵詞： SU-微加工 微波 濾波器 矩形波導(dǎo) W波段　出處：《紅外與毫米波學(xué)報》2017年01期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：濾波器是信號傳輸系統(tǒng)中的重要組件.提出一種快速、高精度復(fù)制工藝方法,用于設(shè)計和制備WR-10波段矩形波導(dǎo)濾波器.采用多層勻膠單次紫外曝光工藝(硅片上勻SU-8膠),制備出的濾波器高度誤差小于0.03%(3μm),陡直度誤差小于1.1o.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,用該方法制備毫米波濾波器技術(shù)可行,并取得了卓越的電磁性能(關(guān)于:插入損耗,回波損耗和帶寬).最終測試結(jié)構(gòu)可知,通帶內(nèi)的插入損耗測得結(jié)果小于0.5 dB,幾乎可以忽略不計,在整個通帶內(nèi)回?fù)軗p耗大于10 dB.結(jié)果表明,這種快速制造技術(shù)是制備太赫茲射頻器件的一種有效辦法,這種新技術(shù)將成為推動太赫茲射頻器件未來發(fā)展的主要動力.
[Abstract]:Filter is an important component of signal transmission system. It is used to design and fabricate the WR-10 band rectangular waveguide filter. The filter height error is less than 0.03 渭 m and the steepness error is less than 1.1 o. by using multilayer homogenized single ultraviolet exposure (SU-8 glue on silicon wafer), the error of the filter is less than 0.03 渭 m, the error of steepness is less than 1.1 o. the experimental results show that, It is feasible to fabricate millimeter wave filter by this method, and the excellent electromagnetic properties (about insertion loss, echo loss and bandwidth) are obtained. The result of insertion loss measurement in passband is less than 0.5 dB, which is almost negligible. The backdial loss is greater than 10 dB in the whole passband. The results show that this rapid manufacturing technique is an effective method for fabricating terahertz RF devices. This new technology will be the main driving force for the future development of terahertz RF devices.
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：Supported by National Science Foundation of China(51475438) Research Project Supported by Shanxi Scholarship Council of china(2014-055) Graduate student education innovation project in Shanxi province(2016BY124)
【分類號】：TN713

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本文編號：1518688