本文關(guān)鍵詞： 線(xiàn)纜擾動(dòng) 解耦 在線(xiàn)遞推估計(jì)算法 氣浮平面電機(jī) 廣義質(zhì)心　出處：《清華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)》2016年02期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：在光刻機(jī)硅片臺(tái)高精度運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中,線(xiàn)纜對(duì)硅片臺(tái)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的擾動(dòng)是一個(gè)主要的擾動(dòng)源。這是由于線(xiàn)纜部件附加在硅片臺(tái)上的擾動(dòng)力和力偶導(dǎo)致了系統(tǒng)的耦合問(wèn)題,惡化了系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)控制的性能。該文通過(guò)對(duì)硅片臺(tái)粗動(dòng)臺(tái)的力學(xué)建模,分析附加力偶的影響,引入廣義質(zhì)心偏移的數(shù)學(xué)描述,通過(guò)時(shí)變參數(shù)在線(xiàn)遞推估計(jì)算法獲得廣義質(zhì)心偏移的參數(shù),該參數(shù)實(shí)時(shí)用于硅片臺(tái)平面電機(jī)4組線(xiàn)圈水平推力的解耦。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:使用該參數(shù)遞推估計(jì)算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)解耦,自適應(yīng)能力強(qiáng),降低了系統(tǒng)3自由度之間的串?dāng)_,提高了運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的性能。
[Abstract]:In the high-precision motion control system of silicon wafer of lithography machine, the disturbance caused by cable to the motion of silicon wafer is a main source of disturbance, which is due to the coupling problem caused by the disturbing force and couple of cable parts attached to the wafer. The performance of system motion control is deteriorated. Through the mechanical modeling of the coarse moving platform of the wafer platform, the effect of additional couple is analyzed, and the mathematical description of generalized centroid migration is introduced. The parameters of generalized centroid migration are obtained by on-line recursive estimation of time-varying parameters. This parameter is used to decouple the horizontal thrust of four sets of coil of planar motor on silicon chip in real time. The experimental results show that the recursive parameter estimation algorithm is used to realize the real-time dynamic decoupling, and the adaptive ability is strong, and the crosstalk between the three degrees of freedom of the system is reduced. The performance of motion control system is improved.
【作者單位】： 清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51475261,51475262) 清華大學(xué)自主科研項(xiàng)目(20151080363)
【分類(lèi)號(hào)】：TN305.7

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本文編號(hào)：1512465