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飛秒激光在甘油介質(zhì)中燒蝕恒彈合金的規(guī)律研究

發(fā)布時(shí)間:2018-01-20 23:56

  本文關(guān)鍵詞: 飛秒激光 液體介質(zhì) 恒彈性合金 電離點(diǎn) 燒蝕規(guī)律 出處:《應(yīng)用激光》2017年03期  論文類型:期刊論文


【摘要】:為了深入研究恒彈合金的飛秒激光燒蝕工藝,探索了飛秒激光在甘油介質(zhì)中對(duì)恒彈性合金進(jìn)行燒蝕的規(guī)律。因?yàn)榧す鉄g誘導(dǎo)產(chǎn)生的氣泡在液體輔助燒蝕中扮演了一個(gè)重要角色,因此在實(shí)驗(yàn)中使用了粘度較大的甘油溶液,以研究氣泡對(duì)于燒蝕規(guī)律的影響。在進(jìn)行燒蝕時(shí),采用不同的離焦量分別打點(diǎn),以研究溶液介質(zhì)對(duì)于激光聚焦點(diǎn)位置的影響。實(shí)驗(yàn)表明,在甘油溶液介質(zhì)中對(duì)樣品表面燒蝕時(shí),孔深的變化比之在空氣中燒蝕差別很大,在離焦量由正到負(fù)的過(guò)程中出現(xiàn)了兩個(gè)孔深峰值,分別位于正負(fù)離焦量區(qū)間,并且在零離焦量附近達(dá)到極小值。而孔徑的變化則基本呈現(xiàn)聚焦點(diǎn)位置越深入樣品表面內(nèi)部越大的趨勢(shì)。根據(jù)對(duì)實(shí)驗(yàn)過(guò)程和結(jié)果的觀察分析,這主要是由于氣泡對(duì)激光燒蝕能力產(chǎn)生了很大的影響,從而導(dǎo)致了液體輔助燒蝕與在空氣中燒蝕截然不同的結(jié)果。
[Abstract]:In order to deeply study the femtosecond laser ablation process of the constant elastic alloy. The law of ablation of constant-elastic alloy by femtosecond laser in glycerol medium is explored because the bubble induced by laser ablation plays an important role in liquid-assisted ablation. Therefore, glycerol solution with high viscosity was used in the experiment to study the effect of bubble on ablation law. In order to study the effect of solution medium on laser focal point, the experimental results show that when the sample surface is ablated in glycerol solution, the variation of pore depth is more different than that in air. In the process of defocusing from positive to negative, there are two peak values of hole depth, respectively, in the range of positive and negative defocus. And the minimum value is reached near zero defocus, and the change of pore size basically shows the trend that the focal point is deeper into the surface of the sample. According to the observation and analysis of the experimental process and results. This is mainly due to the effect of bubbles on laser ablation ability, which leads to a very different effect between liquid assisted ablation and air ablation.
【作者單位】: 中南大學(xué)高性能復(fù)雜制造國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中南大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào):51475481,51475482,51335011) 教育部“新世紀(jì)人才支持計(jì)劃”資助項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào):NCET-12-0548)
【分類號(hào)】:TG135.2;TN249
【正文快照】: 0引言恒彈性合金,是一種具有高彈性模量、高強(qiáng)度和低彈性模量溫度系數(shù)以及良好的波速一致性的合金材料,因其優(yōu)異的性能而廣泛應(yīng)用于各個(gè)高精密需求領(lǐng)域中[1]。由于這種應(yīng)用領(lǐng)域的高精密性,因而對(duì)于恒彈合金的加工與制造也有著極為精密的要求。在這種背景下,傳統(tǒng)機(jī)械加工方法往

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