發(fā)布時(shí)間：2018-01-17 19:18

  本文關(guān)鍵詞：曲面基底衍射光學(xué)元件的激光直寫技術(shù)　出處：《中國(guó)激光》2017年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：飛秒激光直寫技術(shù)(FsLDW)因其優(yōu)異的三維加工能力、高空間分辨率、低附加損傷等優(yōu)點(diǎn)被廣泛地應(yīng)用于微納加工領(lǐng)域,但傳統(tǒng)飛秒激光直寫技術(shù)在加工效率、加工面積和加工精度之間存在矛盾。為了實(shí)現(xiàn)高速、大面積、高精度的激光微納加工,構(gòu)建了一種由大范圍水平位移臺(tái)和高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)組成的極坐標(biāo)系飛秒激光直寫系統(tǒng)。基于該系統(tǒng),研究了軸對(duì)稱樣品中心對(duì)準(zhǔn)方法及曲面曲率校準(zhǔn)方法,并在曲面上制備了多階三維結(jié)構(gòu)。最終完成了在透鏡曲面上制備直徑為10mm的衍射圓光柵結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了飛秒激光高速、大尺寸、高精度地制備大面積三維結(jié)構(gòu)。該研究為高性能折衍混合光學(xué)元件的制備提供了有力的技術(shù)支持。
[Abstract]:Femtosecond laser direct-writing (FsLDW) has been widely used in the field of micro-nano machining due to its excellent three-dimensional processing ability, high spatial resolution, low additional damage and so on. However, the traditional femtosecond laser direct-writing technology has a contradiction between machining efficiency, machining area and machining precision. In order to achieve high-speed, large-area, high-precision laser micro-nano machining. A femtosecond laser direct-writing system in polar coordinate system composed of a wide range of horizontal displacement table and a high-speed rotating table is constructed. Based on this system, the method of center alignment of axisymmetric samples and the curvature calibration method of curved surface are studied. Finally, the diffraction circular grating structure with a diameter of 10 mm was fabricated on the lens surface, and the femtosecond laser was achieved at high speed and large size. A large area 3D structure is fabricated with high precision. This study provides a powerful technical support for the fabrication of high performance refractive diffractive hybrid optical elements.
【作者單位】： 吉林大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院集成光電子學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;西安交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(91423102,91323301,61605055,21473076)
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 0602002-1衍射光學(xué)元件因其體積小、質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于航空航天、國(guó)防軍事、激光技術(shù)等領(lǐng)域[1-4]。目前衍射光學(xué)元件的制作方法主要有單點(diǎn)金剛石車削[5]、光刻[6]與激光直寫[7-8]等方法。其中,單點(diǎn)金剛石車削元件相位輪廓易受金剛石刀具形狀的限制;光刻技術(shù)存在無法

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4 王潤(rùn)文，，葉超;衍射光學(xué)元件的解析分析方法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1995年12期

5 楊國(guó)楨，顧本源，董碧珍;衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)方法[J];量子電子學(xué);1995年01期

6 ;衍射光學(xué)元件改善產(chǎn)品的設(shè)計(jì)[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;1996年06期

7 程習(xí)敏;白瑜;謝偉民;邢廷文;林嫵媚;;衍射光學(xué)元件的加工工藝及其在各種光譜鏡頭中的應(yīng)用[J];光電技術(shù)應(yīng)用;2014年02期

8 周明寶,林大鍵,白臨波;雙光路雙波長(zhǎng)相移干涉顯微法測(cè)量衍射光學(xué)元件形貌[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2000年06期

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10 李濤,付紹軍,王煒,徐俊中,李永平;一種用于均勻照明的衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)的混合算法[J];計(jì)算物理;2002年01期

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2 白劍;馬韜;沈亦兵;侯西云;;多層衍射光學(xué)元件的特性分析[A];2006年全國(guó)光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)會(huì)議文集（B 光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與制造技術(shù)專題）[C];2006年

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4 張靜娟;司徒國(guó)海;;衍射光學(xué)元件用于光學(xué)圖像加密[A];第六屆全國(guó)光學(xué)前沿問題研討會(huì)論文摘要集[C];2003年

5 王天及;楊世寧;李耀棠;;在液晶空間光調(diào)制器上的可編程費(fèi)涅耳透鏡[A];第二屆光學(xué)前沿問題學(xué)術(shù)討論會(huì)論文摘要集[C];1994年

6 劉娟;王尚奇;;激光腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國(guó)光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

本文編號(hào)：1437619