本文關(guān)鍵詞：通過熱應(yīng)力分析改善AOTF鍵合層附著力　出處：《壓電與聲光》2017年03期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：針對聲光可調(diào)濾光器(AOTF)壓電換能器和聲光晶體鍵合后出現(xiàn)附著力差的問題開展分析,根據(jù)熱應(yīng)力理論計算AOTF鍵合層各層的熱應(yīng)力分布情況,提出通過增加過渡層改善鍵合層應(yīng)力特性。當過渡層Au膜厚為200nm時,理論上鍵合層和聲光晶體間的熱應(yīng)力減小到-0.613 MPa,能夠保證膜層的附著強度。測試結(jié)果顯示,添加過渡層后頻率響應(yīng)的3dB帶寬增加,衍射效率提高了2%~4%。
[Abstract]:Based on the analysis of the problem of poor adhesion between the acoustooptic tunable filter (AOTF) piezoelectric transducer and the acousto-optic crystal bonding, the thermal stress distribution of each layer of AOTF bonding layer is calculated according to the thermal stress theory. The stress characteristics of the bonding layer are improved by increasing the transition layer. When the thickness of the transition layer au film is 200nm, the thermal stress between the bonding layer and the acoustooptic crystal is reduced to -0.613 MPa. The experimental results show that the 3dB bandwidth of the frequency response increases and the diffraction efficiency increases by 2 / 4 with the addition of the transition layer.
【作者單位】： 中國電子科技集團公司第二十六研究所;
【分類號】：TN65
【正文快照】： 0引言聲光可調(diào)濾光器(AOTF)是基于反常布喇格衍射的聲光相互作用原理制成的分光器件,由單軸雙折射晶體(通常為TeO2)、鍵合在晶體一側(cè)的壓電換能器及作用于壓電換能器的射頻驅(qū)動信號源構(gòu)成。通過射頻驅(qū)動使固定在晶體表面的壓電換能器產(chǎn)生超聲波,耦合進入聲光晶體使其調(diào)制。當

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本文編號：1422190