本文關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體設(shè)備預(yù)防性維護建模與優(yōu)化方法研究　出處：《系統(tǒng)工程理論與實踐》2017年03期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：半導(dǎo)體生產(chǎn)線造價昂貴,制造工藝復(fù)雜.其維護具有維護費用高、維護難度大等特點.為了降低生產(chǎn)系統(tǒng)的整體維護成本,保證整個生產(chǎn)系統(tǒng)的穩(wěn)定運行,本文通過伽馬過程描述設(shè)備退化規(guī)律,對設(shè)備的衰退情況進行分類維護.針對隨機退化的生產(chǎn)線提出考慮機會維護的預(yù)防性維護建模方法.以總維護費用最小化為目標,建立了維修費用模型,結(jié)合更新定理給出了模型求解的方法,對檢測周期等參數(shù)進行優(yōu)化分析.并分析了檢測成本、間隔時間相互影響關(guān)系.仿真結(jié)果表明建立的預(yù)防性維護模型可行且有效.
[Abstract]:Semiconductor production line is expensive in cost and complex in manufacturing process. Its maintenance is characterized by high maintenance cost and difficult maintenance. In order to reduce the overall maintenance cost of the production system and ensure the stable operation of the whole production system. In this paper, the law of equipment degradation is described by gamma process. A preventive maintenance modeling method considering opportunity maintenance is proposed for the randomly degraded production line. Aiming at minimizing the total maintenance cost, the maintenance cost model is established. Combined with the renewal theorem, the method of solving the model is given, and the parameters such as the detection period are optimized and the detection cost is analyzed. The simulation results show that the proposed preventive maintenance model is feasible and effective.
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學機電工程學院;
【基金】：國家自然科學基金(51275093)~~
【分類號】：TN305
【正文快照】： i引言 半導(dǎo)體生產(chǎn)線⑴是造價昂貴、工藝復(fù)雜的集成系統(tǒng),這其中涉及到氧化、光刻、淀積、擴散、摻金、光刻等一系列復(fù)雜的工藝流程,生產(chǎn)過程中若某個環(huán)節(jié)所對應(yīng)的生產(chǎn)設(shè)備出現(xiàn)故障則有可能出現(xiàn)大批量的半成品或成品報廢,這將對企業(yè)的生產(chǎn)效益造成沉重的負擔;以生產(chǎn)LED芯片的金

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1 閆志瑞;硅片參數(shù)測試儀的預(yù)防性維護[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2004年01期

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本文編號：1420492