激光預(yù)處理提升DKDP晶體加工表面的抗損傷能力

發(fā)布時間：2018-01-12 10:19

本文關(guān)鍵詞：激光預(yù)處理提升DKDP晶體加工表面的抗損傷能力　出處：《光學(xué)精密工程》2017年08期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：針對晶體表面的損傷特性,采用小光斑掃描激光預(yù)處理技術(shù)預(yù)輻照DKDP晶體元件,并采用表面損傷自動探測系統(tǒng)實時分析每個脈沖輻照后晶體表面的損傷情況,比較預(yù)處理和未預(yù)處理區(qū)域的損傷點密度確定表面預(yù)處理效果,并進一步模擬分析表面各類缺陷在納秒強激光輻照下的動態(tài)過程,解釋激光預(yù)處理對精拋表面提升作用的微觀機制并分析它對粗拋表面提升不明顯的原因。實驗結(jié)果表明,激光預(yù)處理技術(shù)對粗拋表面的提升作用并不明顯,但是可以大幅度抑制精拋表面的損傷點密度。在本文的實驗條件下,晶體表面的抗激光損傷能力可以提升約60%。比較體材料和精拋表面的預(yù)處理效果發(fā)現(xiàn):當(dāng)體材料的抗破壞能力通過預(yù)處理提升后,精拋表面的抗激光損傷能力也會提升,由此可見精拋表面的激光預(yù)處理效果與體材料性能相關(guān)。
[Abstract]:According to the damage characteristics of the crystal surface, DKDP crystal elements were preirradiated by the small spot scanning laser pretreatment technique. An automatic surface damage detection system is used to analyze the damage of the crystal surface after each pulse irradiation in real time, and the effect of surface pretreatment is determined by comparing the damage point density of the pretreated and unpretreated regions. The dynamic process of various defects on the surface under nanosecond laser irradiation is further simulated and analyzed. The microcosmic mechanism of laser pretreatment on the surface lifting of fine throwing is explained and the reason why it is not obvious to the surface of rough throwing is analyzed. The experimental results show that the lifting effect of laser pretreatment on the surface of rough throwing is not obvious. However, the damage point density on the surface of fine throwing can be greatly inhibited. Under the experimental conditions in this paper. The laser damage resistance of the crystal surface can be improved by about 60%. Compared with the pretreatment effect of the bulk material and the fine cast surface, it is found that: when the damage resistance of the bulk material is improved by pretreatment. The laser damage resistance of the surface is also improved, which shows that the laser pretreatment effect is related to the properties of bulk materials.
【作者單位】：中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所中國科學(xué)院強激光材料重點實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(No.61405219,No.11304328)
【分類號】：O786;TN249
【正文快照】： 2.中國科學(xué)院大學(xué),北京100049)(1.Key Laboratory of Materials for High Power Laser,Shanghai Institute of Optics and FineMechanics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800,China;2.University of Chinese Academy of Sciences,Beijing100049,China)*Correspondin

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本文編號：1413825

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