本文關(guān)鍵詞：面向電子制造的高速精密宏微運動平臺減振研究與測試　出處：《廣東工業(yè)大學(xué)》2015年碩士論文　論文類型：學(xué)位論文

  更多相關(guān)文章： 高加速度 宏微運動平臺 集成控制系統(tǒng) 動力學(xué)建模 減振分析

【摘要】：隨著電子制造業(yè)的高速發(fā)展,電子封裝裝備對其核心運動平臺及系統(tǒng)提出了愈加苛刻的要求,要求實現(xiàn)高速、高加速度(10g-15g)運動條件下的微米級(1-3μm)精密定位。本文面向電子制造的高速精密運動平臺開展研究,以高速、高精密定位等運動要求設(shè)計并搭建單軸宏微運動平臺,開發(fā)集成控制系統(tǒng),通過動力學(xué)建模和減振方法及相關(guān)實驗,驗證平臺性能。本文的主要研究內(nèi)容概括如下：1、深入調(diào)研高速精密運動平臺的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀,分析精密運動平臺的關(guān)鍵技術(shù)及其存在的難點問題,確定本文的研究內(nèi)容及研究重點。2、提出一種宏微復(fù)合驅(qū)動方案,即基于音圈電機的宏運動和基于壓電陶瓷的微運動相結(jié)合,實現(xiàn)高速大行程精密定位的運動要求；提出一種雙光柵尺復(fù)合定位方法,宏運動采用增量式光柵尺、微運動采用絕對式光柵尺的位置信號反饋方式,實現(xiàn)平臺的精密定位；并設(shè)計出單軸宏微運動平臺模型。3、對所設(shè)計的宏微運動平臺進行功能設(shè)計和集成控制系統(tǒng)開發(fā),實現(xiàn)電機、壓電陶瓷、增量式光柵尺、絕對式光柵尺等信號的采集與運動控制集成。4、建立宏微運動平臺的動力學(xué)模型,再利用MATLAB Simulink仿真工具對運動平臺進行仿真分析；分析高速宏微運動平臺的振動問題,提出基于壓電陶瓷驅(qū)動器的主動減振方法。5、搭建宏微運動平臺,開展宏微運動平臺主動減振方法的實驗研究,基于所開發(fā)的集成控制系統(tǒng)對平臺的運動特性及精度進行分析測試。
[Abstract]:With the rapid development of electronic manufacturing industry, electronic packaging equipment has put forward more and more stringent requirements for its core motion platform and system, which requires the realization of high speed. High acceleration 10g-15g) precise positioning of micrometer scale 1-3 渭 m. In this paper, the high speed precision motion platform for electronic manufacturing is studied. High precision positioning and other motion requirements to design and build a single axis macro and micro motion platform, the development of integrated control system, through dynamic modeling and vibration reduction methods and related experiments. Verify the performance of the platform. The main research content of this paper is summarized as follows: 1, in-depth investigation of the domestic and foreign research status of high-speed precision motion platform, analysis of the key technology of precision platform and its difficult problems. Determine the research content and focus of this paper. 2, propose a macro and micro composite drive scheme, that is, the combination of macro motion based on voice coil motor and micro motion based on piezoelectric ceramics. The motion requirement of precision positioning with high speed and large stroke; A compound positioning method of double grating ruler is proposed. The macro motion adopts the incremental grating ruler and the micro motion adopts the absolute grating ruler position signal feedback to realize the precision positioning of the platform. And designed the uniaxial macro and micro motion platform model. 3, the design of the macro and micro motion platform function design and integrated control system development, the realization of motor, piezoelectric ceramics, incremental grating ruler. The acquisition and motion control of absolute grating ruler signal is integrated. 4, and the dynamic model of macro and micro motion platform is established. Then we use MATLAB Simulink to simulate and analyze the motion platform. The vibration problem of high speed macro and micro motion platform is analyzed. The active vibration reduction method based on piezoelectric ceramic actuator is proposed. The macro and micro motion platform is built and the experimental research on active vibration reduction method of macro and micro motion platform is carried out. Based on the developed integrated control system, the motion characteristics and accuracy of the platform are analyzed and tested.
【學(xué)位授予單位】：廣東工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TN05

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本文編號：1413440