本文關(guān)鍵詞：雙晶片壓電驅(qū)動(dòng)器的研究　出處：《壓電與聲光》2017年02期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：為實(shí)現(xiàn)較大的驅(qū)動(dòng)力和速度,提出一種新型壓電驅(qū)動(dòng)器,研究了驅(qū)動(dòng)器輸出性能隨壓電泵工作腔數(shù)、頻率的變化規(guī)律。制作驅(qū)動(dòng)器,分別進(jìn)行十腔串聯(lián)壓電泵/五腔壓電泵并聯(lián)、3~5個(gè)壓電振子工作、50~400 Hz頻率下的輸出試驗(yàn)。結(jié)果表明,壓電泵并聯(lián)時(shí)驅(qū)動(dòng)器的最佳輸出功率較大;工作的振子數(shù)目不同,存在不同的最佳頻率使驅(qū)動(dòng)器的輸出速度最大,相同的頻率使輸出推力最大;最佳頻率時(shí),驅(qū)動(dòng)器的輸出與工作的振子數(shù)目呈正比。在150V、380Hz時(shí)驅(qū)動(dòng)器輸出功率最大,此時(shí)輸出速度和推力是10.72mm/s、57.7N。
[Abstract]:In order to achieve greater driving force and speed, a new type of piezoelectric actuator is proposed. The output performance of the actuator varies with the working cavity number and frequency of the piezoelectric pump. The output experiments of 10 cavities series piezoelectric pump / five cavity piezoelectric pump with 3 ~ 5 piezoelectric oscillators at the frequency of 50 ~ 400 Hz have been carried out respectively. The results show that the experiment results are as follows: 1. The optimal output power of the actuator is larger when the piezoelectric pump is parallel. The output speed of the actuator is maximized by different optimal frequencies and the output thrust is maximized by the same frequency. At the optimum frequency, the output of the driver is proportional to the number of vibrators in operation. The maximum output power of the driver is at 150 Vt 380Hz, and the output speed and thrust are 10.72 mm / s. 57.7N.
【作者單位】： 長春工程學(xué)院機(jī)電工程學(xué)院;浙江師范大學(xué)精密機(jī)械研究所;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51075371)
【分類號(hào)】：TN384
【正文快照】： 0引言壓電驅(qū)動(dòng)器具有位移分辨率高,定位精度高,體積小,無電磁干擾,響應(yīng)快及易控制等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于光學(xué)半導(dǎo)體和機(jī)械加工制造等行業(yè)[1-5],但同時(shí)要求大位移和高驅(qū)動(dòng)力的工作場合,現(xiàn)有壓電驅(qū)動(dòng)器受一定的限制。因此,有必要研制一種新型的壓電驅(qū)動(dòng)器,使其輸出位移和驅(qū)動(dòng)力滿

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1406780