二維經(jīng)驗?zāi)B(tài)分解在工程表面形貌誤差評定中的應(yīng)用
本文關(guān)鍵詞:二維經(jīng)驗?zāi)B(tài)分解在工程表面形貌誤差評定中的應(yīng)用 出處:《光學(xué)精密工程》2017年02期 論文類型:期刊論文
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【摘要】:針對目前表面微觀形貌面形誤差分離方法中存在邊界畸變及自適應(yīng)差等缺點,提出了將具有自適應(yīng)時頻分辨能力的二維經(jīng)驗?zāi)B(tài)分解算法(bidimensional empirical mode decomposition,BEMD)應(yīng)用于三維工程表面面型誤差分離中,同時用Riesz變換構(gòu)造單演信號,計算信號整體的頻率特征,完成對二維經(jīng)驗?zāi)B(tài)分解算法的終止準(zhǔn)則的改進,使其能嚴(yán)格按照ISO4287所規(guī)定的截止波長分離三維表面各頻段形貌誤差。仿真結(jié)果表明,本文新方法相比于國標(biāo)ISO中高斯濾波以及常用小波濾波,在分離三維工程粗糙表面各面型誤差時,所得分離圖形效果遠優(yōu)于傳統(tǒng)方法所得,且各頻段誤差對應(yīng)的三維評定參數(shù)誤差均小于5%。最后對光學(xué)鍍膜元件實例進行分析,結(jié)果表明該算法能夠很好地分離各形貌誤差的的空間信息,所得參數(shù)評定基準(zhǔn)面相對傳統(tǒng)方法不存在邊界畸變等問題,因此該方法在實際工程表面評定應(yīng)用中具有可行性。
[Abstract]:To solve the drawbacks of boundary distortion and adaptive differential method of error separation surface the surface morphology, is proposed with the two-dimensional empirical mode adaptive time-frequency resolution decomposition algorithm (bidimensional empirical mode decomposition, BEMD) applied to the 3D engineering surface error separation, and Riesz transformation of the monogenic signal calculation the frequency characteristics of signal, improve the termination criteria for two-dimensional empirical mode decomposition algorithm, which can be in strict accordance with the provisions of the ISO4287 cutoff wavelength of each frequency band separation of 3D surface profile error. The simulation results show that the new method in this paper compared to the Gauss national standard ISO filter and wavelet filter used in separation, the 3D Engineering rough surface surface error, the separation of the resulting graphics effect is much better than the traditional method, and the frequency error of the corresponding three-dimensional evaluation parameters error The difference was less than 5%. and finally carries on the analysis to the optical coating components as an example, the results show that the spatial information of the algorithm can well separate the morphology error, there is no problem of boundary distortion parameters evaluation reference surface relative to the traditional method, so this method is feasible in the application of surface evaluation in practical engineering.
【作者單位】: 福州大學(xué)機械工程及自動化學(xué)院;福建省福光股份有限公司;
【基金】:國家自然科學(xué)基金資助項目(No.51375094) 福建省自然科學(xué)基金資助項目(No.2015J01195) 清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點實驗室開放基金資助項目(No.SKLTKF13B02) 福州市科技局資助項目(No.2014-G-74) 福州大學(xué)人才基金資助項目(No.XRC-1576)
【分類號】:TN713;TB9
【正文快照】: 1引言在計量學(xué)領(lǐng)域,產(chǎn)品功能特征的評定主要取決于產(chǎn)品表面特征信息。而表面形貌在其橫向和縱向輪廓中包含復(fù)雜的表面不平整度,主要是表面粗糙度、表面幾何形狀誤差、以及介于兩者之間的表面波紋度等誤差[1]。因此,如何準(zhǔn)確分離獲得表面形貌的各誤差特征成分成為產(chǎn)品表面功能
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,本文編號:1397919
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