本文關(guān)鍵詞：容性耦合電負(fù)性氧等離子體的激光誘導(dǎo)光致剝離技術(shù)診斷研究　出處：《核聚變與等離子體物理》2017年01期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 激光誘導(dǎo)光致剝離 電負(fù)性等離子體 空間電位 電負(fù)度

【摘要】：采用波長(zhǎng)532nm的高能脈沖激光束照射40.68MHz激發(fā)的容性耦合氧等離子體,并給處于激光束中央的探針施加一定的正偏壓,由此診斷氧等離子體的空間電位和電負(fù)度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,探針偏壓從0V逐漸增加時(shí),探針?biāo)鸭碾娏鞑ㄐ螐腣型向倒U型轉(zhuǎn)變,轉(zhuǎn)變電壓點(diǎn)正是電負(fù)性等離子體的空間電位。嘗試著給出了運(yùn)用激光誘導(dǎo)光致剝離技術(shù)診斷電負(fù)性等離子體空間電位的經(jīng)驗(yàn)方法。另外,探針上施加的正偏壓高于等離子體空間電位時(shí),等離子體的電負(fù)度基本保持不變。實(shí)驗(yàn)還表明,氧等離子體的電負(fù)度隨著射頻輸入功率的增加而呈現(xiàn)下降的趨勢(shì)。
[Abstract]:The capacitive coupled oxygen plasma excited at 40.68 MHz was irradiated by a high-energy pulsed laser beam at 532 nm, and a certain positive bias was applied to the probe in the center of the laser beam. The experimental results show that when the probe bias increases from 0 V, the current waveform collected by the probe changes from V type to inverted U type. The transition voltage point is precisely the space potential of electronegative plasma. An empirical method for diagnosing the spatial potential of electronegativity plasma by laser-induced photolithography is presented in this paper. When the positive bias voltage applied on the probe is higher than the plasma space potential, the electric negative degree of the plasma remains basically unchanged. The electronegativity of oxygen plasma decreases with the increase of RF input power.
【作者單位】： 蘇州大學(xué)物理與光電·能源學(xué)部;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(11175127)
【分類號(hào)】：O53;TN249
【正文快照】： 1引言且具有良好的時(shí)間與空間分辨率。然而,在電負(fù)性低氣壓高密度等離子體由于離子通量和能量等離子體中,由于負(fù)離子與電子質(zhì)量的巨大差異,的可控性而在微納電子工業(yè)的材料表面生長(zhǎng)、表面探針診斷過(guò)程中鞘層電位及鞘層厚度與電正性等刻蝕和材料表面改性等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用[1

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本文編號(hào)：1392492