本文關(guān)鍵詞：基于SAW器件的微間隙壓力監(jiān)測傳感器　出處：《傳感技術(shù)學(xué)報(bào)》2017年05期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：聲表面波SAW(Surface Acoustic Wave)器件能進(jìn)行無源無線通信,為微間隙等特殊環(huán)境下物理量的測量提供了新的解決思路。研究設(shè)計(jì)了一種基于聲表面波延遲線的接觸應(yīng)力傳感器。圍繞微間隙環(huán)境,研究了聲表面波器件的結(jié)構(gòu)類型,并確定壓力監(jiān)測的技術(shù)方案;根據(jù)設(shè)計(jì)原理,設(shè)計(jì)一種新型聲表面波傳感器,并利用有限元分析法對壓電基片進(jìn)行應(yīng)力仿真;將設(shè)計(jì)出的傳感器進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測試并提出溫度補(bǔ)償。通過對聲表面波傳感器設(shè)計(jì)的探究,驗(yàn)證了利用聲表面波傳感器實(shí)現(xiàn)微間隙壓力監(jiān)測的可行性。
[Abstract]:Surface acoustic wave (SAW(Surface Acoustic wave) devices can be used for passive wireless communication. It provides a new solution for the measurement of physical quantities in special environment such as microgap. A contact stress sensor based on saw delay line is designed. The structure type of saw device is studied and the technical scheme of pressure monitoring is determined. According to the design principle, a new saw sensor is designed, and the stress of piezoelectric substrate is simulated by finite element method. The designed sensor is tested experimentally and temperature compensation is put forward. The feasibility of using saw sensor to realize micro gap pressure monitoring is verified by exploring the design of saw sensor.
【作者單位】： 上海工程技術(shù)大學(xué)電子電氣工程學(xué)院;東華大學(xué)信息科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;
【基金】：上海工程技術(shù)大學(xué)研究生科研創(chuàng)新項(xiàng)目(E3-0903-16-01182) 16KY0212柔性陣列式聲表面波微力傳感器的研究項(xiàng)目 國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61274078) 多尺度聲表面波式指條面積加權(quán)的小波變換處理器及小波反變換處理器的研究項(xiàng)目 中國紡織工業(yè)聯(lián)合會的“紡織之光”應(yīng)用基礎(chǔ)研究項(xiàng)目(J201608) 用聲表面波器件實(shí)現(xiàn)紗線張力傳感器的研究項(xiàng)目
【分類號】：TN65;TP212
【正文快照】： 接觸壓力的理論和試驗(yàn)研究一直是工程和力學(xué)的熱門課題,對于處在兩個(gè)金屬或者非金屬物體及若干局部彈性介質(zhì)的微間隙(厚度在1 mm~5 mm)的物體來說,實(shí)時(shí)監(jiān)測其表面壓力是極其重要的。目前,應(yīng)用于接觸壓力測量的傳感器大致可分為壓阻式、電容式、電感式、光學(xué)式等[1],然而它們需

【參考文獻(xiàn)】

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