本文關(guān)鍵詞：四象限傳感器用于激光跟蹤儀光斑偏移量測量　出處：《哈爾濱工程大學(xué)學(xué)報》2017年02期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 激光跟蹤儀 四象限傳感器 光斑偏移量 泰勒級數(shù)展開 測量系統(tǒng)

【摘要】：為了保證激光跟蹤儀的跟蹤速度和跟蹤精度,要求發(fā)現(xiàn)目標(biāo)靶鏡運動和反映靶鏡位移的四象限傳感器信號的處理過程具有快速、準(zhǔn)確的動態(tài)響應(yīng)。推導(dǎo)出四象限傳感器在對角線算法中的輸出信號與光斑偏移量之間的關(guān)系為超越函數(shù)關(guān)系。針對超越函數(shù)關(guān)系不易快速解算的難題,結(jié)合激光光斑的特性,采用了泰勒級數(shù)展開算法。使用高精度直角坐標(biāo)測量機對光斑偏移量測量系統(tǒng)進(jìn)行了驗證實驗。實驗結(jié)果表明:該測量系統(tǒng)實時性好,每秒測量次數(shù)達(dá)到1 050次;測量精度高,在±400μm測量范圍內(nèi)測量精度可達(dá)6μm。該系統(tǒng)可以廣泛應(yīng)用于需要微小位移測量的相關(guān)領(lǐng)域。
[Abstract]:In order to ensure the tracking speed and tracking accuracy of the laser tracker, it is necessary to find the target mirror motion and the processing process of the four-quadrant sensor signal reflecting the target mirror displacement. The relation between output signal and spot offset of four-quadrant sensor in diagonal algorithm is derived as transcendental function. According to the characteristics of laser spot, the Taylor series expansion algorithm is adopted. The high precision rectangular coordinate measuring machine is used to verify the spot offset measurement system. The experimental results show that the system has good real-time performance. The number of measurements per second was 1,050; The precision of the system is high, and the precision can reach 6 渭 m in the range of 鹵400 渭 m. The system can be widely used in the field of small displacement measurement.
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)北京市精密測控技術(shù)與儀器工程技術(shù)研究中心;
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(2013YQ17053904)
【分類號】：TH744.5
【正文快照】： 網(wǎng)絡(luò)出版地址:http://www.cnki.net/kcms/detail/23.1390.u.20161114.1036.004.html激光跟蹤儀是一種高精度的便攜式三維坐標(biāo)測量設(shè)備,用于超大空間幾何量精密測量和動態(tài)軌跡測量[1]。激光跟蹤儀的工作原理是在目標(biāo)點上安置一個靶鏡,激光跟蹤儀發(fā)出的測量光入射到靶鏡上,又返

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