本文關(guān)鍵詞：基于有限元和正交試驗(yàn)法的CVD感應(yīng)加熱器數(shù)值模擬及優(yōu)化　出處：《熱加工工藝》2017年22期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：通過有限元數(shù)值模擬軟件與正交試驗(yàn)設(shè)計(jì)相結(jié)合的方法對(duì)CVD設(shè)備反應(yīng)室的溫度場(chǎng)進(jìn)行優(yōu)化。研究了激勵(lì)電流、電流頻率、線圈匝數(shù)、線圈間距和加熱時(shí)間對(duì)沉積石墨管溫度場(chǎng)的影響。引入平均溫度、溫度標(biāo)準(zhǔn)差及變異系數(shù)指標(biāo),采用5因素5水平的正交試驗(yàn)法來設(shè)計(jì)參數(shù)組合進(jìn)行有限元模擬。通過極差分析和方差分析確定影響石墨管的溫度、溫度方差及變異系數(shù)指標(biāo)的主次因素,確定最優(yōu)值。最后對(duì)最優(yōu)的感應(yīng)加熱參數(shù)進(jìn)行模擬驗(yàn)證。結(jié)果表明:優(yōu)化后的溫度均勻性獲得改善。同時(shí),模擬次數(shù)大量減少,提高了優(yōu)化效率。
[Abstract]:The temperature field of CVD equipment reaction chamber were optimized by finite element numerical simulation software and orthogonal design combination was studied. The excitation current, current frequency, the number of turns of the coil, coil spacing and the effect of heating time on the deposition of graphite tube temperature field is introduced. The average temperature, the temperature of standard deviation and coefficient of variation index, orthogonal the test method with 5 factors and 5 levels to design parameters for finite element simulation. Determined by range analysis and variance analysis of influence factors of the graphite tube temperature, temperature variance and coefficient of variation index, to determine the optimal value. Finally, the optimal parameters of induction heating was simulated. The results show that the optimized temperature uniformity get improved. At the same time, a substantial reduction in the number of simulations, the optimization efficiency is improved.

【作者單位】： 武漢理工大學(xué)現(xiàn)代汽車零部件技術(shù)湖北省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;武漢理工大學(xué)汽車零部件技術(shù)湖北省協(xié)同創(chuàng)新中心;武漢理工大學(xué)材料復(fù)合新技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【分類號(hào)】：TN304.055
【正文快照】： 碳化硅(Si C)具有優(yōu)良的高溫力學(xué)性能、耐腐蝕性和低膨脹系數(shù),近年來被廣泛應(yīng)用于機(jī)械、電子、航空航天等各個(gè)領(lǐng)域�；瘜W(xué)氣相沉積法(CVD:Chemical Vapor Deposition)是制備高密度、高純度、結(jié)合強(qiáng)度較好的Si C表面涂層的主要方法,可以通 過調(diào)整CVD工藝參數(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)涂層組分、結(jié)

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本文編號(hào)：1381700