本文關(guān)鍵詞：氫原子發(fā)生器設(shè)計與分析　出處：《華中科技大學(xué)》2015年碩士論文　論文類型：學(xué)位論文

  更多相關(guān)文章： 氫原子發(fā)生器 光學(xué)污染 光學(xué)污染清潔 光刻機

【摘要】：極紫外光刻技術(shù)是業(yè)界公認(rèn)最有應(yīng)用前景的下一代光刻技術(shù),其中光學(xué)表面污染清潔技術(shù)是其中有待解決的關(guān)鍵技術(shù)之一,采用氫原子進行在線低溫清潔被認(rèn)為是實現(xiàn)光學(xué)表面污染清潔有效技術(shù)之一,本文主要研究用于光學(xué)表面污染清潔的核心裝置氫原子發(fā)生器,主要研究工作和結(jié)論如下:提出了氫原子發(fā)生器的技術(shù)方案,通過高溫鎢絲輻射加熱鎢毛細(xì)管,再由鎢毛細(xì)管加熱氫氣流,實現(xiàn)氫氣裂解獲得氫原子,其中鎢絲溫度通過電流調(diào)節(jié)和溫度反饋測量實現(xiàn)精確控制,采用鉬隔熱材料和水冷結(jié)構(gòu)屏蔽高溫鎢絲的熱傳遞,減小對外部器件的熱影響。該方案裂解率高,且氫原子流向可控,可獲得更好的光學(xué)表面污染清潔效果。研究了氫氣裂解率與鎢毛細(xì)管溫度和氫氣流量之間的關(guān)系,氫氣裂解率隨鎢毛細(xì)溫度升高而增大,隨氫氣流量增大而減小。當(dāng)鎢毛細(xì)管溫度達到2115K時,氫氣裂解率可實現(xiàn)90%,鎢管溫度繼續(xù)升高,氫氣裂解率增大的速率開始減小。依據(jù)氫氣裂解率和氫原子總量需求確定氫氣流量,建立了鎢毛細(xì)管溫度和加熱電流之間關(guān)系式。設(shè)計了氫原子發(fā)生器的詳細(xì)結(jié)構(gòu),鎢絲采用螺旋結(jié)構(gòu)并匹配螺距與直徑間的關(guān)系,以及選擇合理材料和安裝固定方式,避免高溫鎢絲的軟化下垂對其性能的影響。采用鉬隔熱環(huán)和冷卻套相結(jié)合,屏蔽高溫鎢絲熱傳遞到氫原子發(fā)生器外部,減小其對外部器件的熱影響。氫原子發(fā)生器采用了輕量化和緊湊性設(shè)計,為其集成和應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。氫原子發(fā)生器已經(jīng)裝配完畢,正在進行性能調(diào)試。提出了氫原子發(fā)生器性能測試方法。在真空環(huán)境下,由殘余氣體分析儀測量氫原子數(shù)量和氫氣流量計算得到氫氣裂解率。并設(shè)計和建立了氫原子發(fā)生器性能實驗驗證裝置,具備了對氫原子發(fā)生器性能測試條件。
[Abstract]:This paper studies the relationship between hydrogen cracking rate and tungsten capillary temperature and hydrogen flow .

【學(xué)位授予單位】：華中科技大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TN305.7

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本文編號：1379014