本文關(guān)鍵詞：飛秒激光背部濕刻石英玻璃微通道的研究　出處：《激光技術(shù)》2017年02期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 超快光學(xué) 微通道 激光誘導(dǎo)背部濕刻 石英玻璃

【摘要】：為了獲得飛秒激光背部濕刻石英玻璃微通道的最佳參量,通過分別改變飛秒激光的功率、刻蝕速率和顯微物鏡的放大倍數(shù)進(jìn)行了實驗。采用超景深顯微鏡對加工樣品進(jìn)行觀察和測量,并分析了微通道的形貌。結(jié)果表明,在飛秒激光功率為50mW、刻蝕速率為0.010mm/s、20~×顯微物鏡聚焦的實驗條件下,可以制備出深度為1466μm、深寬比為32的石英玻璃微通道。此研究對3維結(jié)構(gòu)維納制造技術(shù)有一定的應(yīng)用價值。
[Abstract]:In order to obtain the best parameters of the wet-engraved quartz glass microchannel on the back of femtosecond laser, the power of femtosecond laser is changed separately. The etching rate and the magnification of the micro objective lens were tested. The samples were observed and measured by hyperfield depth microscope, and the morphology of the microchannel was analyzed. The results showed that the power of femtosecond laser was 50 MW. When the etching rate is 0.010 mm / s ~ (20) 脳 microobjective lens focusing, the depth of 1466 渭 m can be obtained. Quartz glass microchannel with a aspect ratio of 32. This study has a certain application value for 3D structure Wiener fabrication technology.
【作者單位】： 深圳大學(xué)光電工程學(xué)院;深圳大學(xué)機(jī)電與控制工程學(xué)院;
【分類號】：TN249
【正文快照】： 引言飛秒激光作為20世紀(jì)末發(fā)展起來的一種超快光源,由于具有長脈沖激光所不具備的特殊特性,例如超短的脈沖持續(xù)時間、超高的峰值功率等性能,使得其在加工領(lǐng)域有著特殊的應(yīng)用。當(dāng)飛秒激光與物質(zhì)相互作用時,能夠快速將能量聚集在很小的區(qū)域,瞬間的高能聚集使得電子的吸收和運動

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