本文關(guān)鍵詞：飛秒激光參數(shù)對(duì)硅表面微結(jié)構(gòu)影響的研究　出處：《光學(xué)儀器》2016年05期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 表面微結(jié)構(gòu) 黑硅 脈沖寬度 激光峰值功率

【摘要】：為了制備出表面具有準(zhǔn)規(guī)則排列的微米量級(jí)錐形尖峰結(jié)構(gòu)的黑硅材料,在SF6氣體氛圍中,用一定能量密度的飛秒脈沖激光照射單晶硅片表面。針對(duì)激光通量和激光峰值功率這兩個(gè)參量分別進(jìn)行實(shí)驗(yàn),具體分析了15fs和130fs脈沖寬度的飛秒激光脈沖作用下硅表面微結(jié)構(gòu)的形成,不同實(shí)驗(yàn)條件下制備出的硅微納結(jié)構(gòu)也有明顯的差異。研究表明,在同一背景氣體下,激光的峰值功率對(duì)硅表面微結(jié)構(gòu)的形成起著決定性的作用。
[Abstract]:In order to prepare the black silicon material with quasi - regular ordered micron conical spike structure on the surface , the surface of single crystal silicon is irradiated by femtosecond pulse laser with certain energy density in SF6 gas atmosphere . For the laser flux and laser peak power , the formation of microstructure of silicon surface under different experimental conditions is analyzed . The results show that the peak power of laser plays a decisive role in the formation of silicon surface microstructure under the same background gas .

【作者單位】： 上海理工大學(xué)上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家重大儀器專項(xiàng)(2011YQ150021、2012YQ15009205) 上海市教育委員會(huì)上海市教育發(fā)展基金會(huì)“晨光計(jì)劃”(12CG54)
【分類號(hào)】：TN304.12;TN249
【正文快照】： 引言目前,激光技術(shù)的發(fā)展越來越迅速,采用激光技術(shù)對(duì)固體材料進(jìn)行性質(zhì)的改善和研究也越來越普遍。在特定氣體SF6條件下,硅材料表面在飛秒激光脈沖的作用下會(huì)生成一種表面呈黑色的比較特別的微納結(jié)構(gòu),能在表面產(chǎn)生這種微結(jié)構(gòu)的硅材料稱為黑硅[1]。與通常的硅材料相比,這種黑硅

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 闕偉明;淺談微結(jié)構(gòu)物理[J];物理;1989年08期

2 ;第六屆國(guó)際超晶格、微結(jié)構(gòu)、微器件會(huì)議預(yù)告[J];物理;1992年04期

3 虞吉林;考慮微結(jié)構(gòu)的固體力學(xué)的進(jìn)展和若干應(yīng)用[J];力學(xué)進(jìn)展;1985年01期

4 彭英才;半導(dǎo)體量子微結(jié)構(gòu)及其研究進(jìn)展[J];大自然探索;1993年03期

5 都有為,陳坤基;鐘山微結(jié)構(gòu)科學(xué)技術(shù)研討會(huì)簡(jiǎn)訊[J];物理;1996年08期

6 李真,徐則達(dá),梁麗珍,蔡志崗,周建英,張靈志,梁兆熙;一種新穎的制作規(guī)則微結(jié)構(gòu)方法[J];中國(guó)激光;2001年04期

7 周青山;謝錦云;郭永燦;歐德有;劉彥欣;;鎘對(duì)魚類腎小管亞微結(jié)構(gòu)及乳酸脫氫酶同功酶活性的影響[J];電子顯微學(xué)報(bào);1986年03期

8 呂惠賓,R.E.Burge,屈冬寧,袁曉聰;波長(zhǎng)尺寸單槽衍射的非線性特性[J];量子電子學(xué);1992年S1期

9 胡瑞林,官國(guó)琳,李向東,張禮中;黃土壓縮變形的微結(jié)構(gòu)效應(yīng)[J];水文地質(zhì)工程地質(zhì);1998年03期

10 孫京田;任建成;謝英渤;;中藥穿山甲的亞微結(jié)構(gòu)及元素分析[J];山東師大學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1991年02期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 黃銀;陳航;馮雪;;基于微結(jié)構(gòu)調(diào)控的可拉伸波狀硅[A];中國(guó)力學(xué)大會(huì)——2013論文摘要集[C];2013年

2 王廣軍;楊小鴻;韓筱玉;;進(jìn)行性肌營(yíng)養(yǎng)不良12例亞微結(jié)構(gòu)改變[A];第四次全國(guó)電子顯微學(xué)會(huì)議論文摘要集[C];1986年

3 包崇云;王買全;R. Trukenmuller;張強(qiáng);歐國(guó)敏;宮蘋;C.A. van Blitterswijk;;微結(jié)構(gòu)芯片優(yōu)化牙種植體穿齦部位形貌特征[A];第六屆全國(guó)口腔種植學(xué)術(shù)會(huì)議論文匯編[C];2009年

4 胡瑞林;李向全;官國(guó)琳;葉浩;;粘性土微結(jié)構(gòu)的定量化研究進(jìn)展[A];第五屆全國(guó)工程地質(zhì)大會(huì)文集[C];1996年

5 陳斌;尹大剛;袁權(quán);;脛骨螺旋繞孔微結(jié)構(gòu)[A];第十七屆全國(guó)高技術(shù)陶瓷學(xué)術(shù)年會(huì)摘要集[C];2012年

6 鄧星輝;趙佳彬;于洋;;具有大面積分?jǐn)?shù)的微結(jié)構(gòu)表面靜態(tài)潤(rùn)濕性質(zhì)研究[A];中國(guó)力學(xué)大會(huì)——2013論文摘要集[C];2013年

7 劉輝;李平;魏雨;;Ferrihydrite的微結(jié)構(gòu)對(duì)其催化相轉(zhuǎn)化過程的影響[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第二十五屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集（下冊(cè)）[C];2006年

8 李易;肖鵬;申峰;劉趙淼;;微結(jié)構(gòu)流動(dòng)潤(rùn)滑中對(duì)阻力影響因素的研究[A];北京力學(xué)會(huì)第20屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2014年

9 韓巧鳳;王美娟;汪信;;用單原料前驅(qū)體合成不同微結(jié)構(gòu)的硫化鉛納米晶[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)第27屆學(xué)術(shù)年會(huì)第05分會(huì)場(chǎng)摘要集[C];2010年

10 陳嘉鷗;盧承祖;郭素杰;葉斌;;軟土微結(jié)構(gòu)SEM樣品的制備技術(shù)[A];新世紀(jì)巖石力學(xué)與工程的開拓和發(fā)展——中國(guó)巖石力學(xué)與工程學(xué)會(huì)第六次學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2000年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前3條

1 宋瑩　姚大捚　陳曉春;南京微結(jié)構(gòu)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室建設(shè)正式啟動(dòng)[N];新華日?qǐng)?bào);2005年

2 張曄;“微”結(jié)構(gòu)中的大文章[N];科技日?qǐng)?bào);2005年

3 內(nèi)蒙古金三角光纖科技有限公司 王學(xué)忠;微結(jié)構(gòu)布拉格光纖邁進(jìn)產(chǎn)業(yè)化[N];通信產(chǎn)業(yè)報(bào);2012年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

1 黃金國(guó);微結(jié)構(gòu)表面紅外熱輻射特性調(diào)控方法研究[D];南京理工大學(xué);2015年

2 劉高陽;水電解電催化材料合成、微結(jié)構(gòu)調(diào)控及性能研究[D];北京科技大學(xué);2016年

3 楊煥;激光制作綠色能源電池微結(jié)構(gòu)部件技術(shù)的研究[D];華中科技大學(xué);2015年

4 畢宴鋼;有機(jī)電致發(fā)光器件的微結(jié)構(gòu)電極研究[D];吉林大學(xué);2016年

5 方俊飛;微結(jié)構(gòu)表面功能材料的制備及其熱輻射光譜特性研究[D];南京理工大學(xué);2014年

6 王濤;高g值環(huán)境典型微結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性及其測(cè)試技術(shù)研究[D];大連理工大學(xué);2008年

7 吳勃;金屬仿生功能微結(jié)構(gòu)的激光制備與研究[D];江蘇大學(xué);2011年

8 陳遠(yuǎn)流;面向微結(jié)構(gòu)陣列的超精密切削加工與測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2014年

9 佘東生;高、低溫環(huán)境下典型微結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性及測(cè)試技術(shù)研究[D];大連理工大學(xué);2013年

10 楊燦;注塑微結(jié)構(gòu)復(fù)制性能及形態(tài)研究[D];華南理工大學(xué);2011年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 胡嘉玲;微結(jié)構(gòu)對(duì)聲傳播特性的影響研究[D];蘇州大學(xué);2015年

2 王會(huì)茗;輥筒模具微結(jié)構(gòu)功能表面的加工實(shí)驗(yàn)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

3 梁紅培;電紡技術(shù)制備微結(jié)構(gòu)可控的明膠/殼聚糖/羥基磷灰石/氧化石墨烯復(fù)合纖維的研究[D];新疆師范大學(xué);2015年

4 劉曉博;基于微結(jié)構(gòu)配光材料的配光系統(tǒng)原理研究[D];北京化工大學(xué);2015年

5 王雯;微型車刀抗磨損表面仿生微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與優(yōu)化[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2015年

6 呂平;高密度封裝基板濺射薄層微結(jié)構(gòu)研究[D];復(fù)旦大學(xué);2014年

7 徐曉穎;微結(jié)構(gòu)硅NH_3傳感器的制備及特性研究[D];電子科技大學(xué);2015年

8 李釗;仿生礦化合成碳酸鈣微結(jié)構(gòu)及其抑菌效應(yīng)的研究[D];華中農(nóng)業(yè)大學(xué);2013年

9 翟慶彬;基于微結(jié)構(gòu)的印刷柔性壓力傳感器研究[D];北京印刷學(xué)院;2015年

10 梁燕飛;Pd摻雜花狀I(lǐng)n_2O_3微結(jié)構(gòu)的制備及其氣敏特性研究[D];太原理工大學(xué);2016年

，

本文編號(hào)：1363875