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  本文關(guān)鍵詞：增強(qiáng)型局域表面等離子體共振納米直寫光刻　出處：《光電工程》2016年01期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 局域表面等離子體共振 納米直寫光刻 Bowtie孔徑結(jié)構(gòu) 金屬-介質(zhì)-金屬結(jié)構(gòu)

【摘要】：本文將Bowtie孔徑結(jié)構(gòu)與金屬-介質(zhì)-金屬結(jié)構(gòu)相結(jié)合,提出了一種新的局域表面等離子體共振納米直寫光刻結(jié)構(gòu),得益于金屬-介質(zhì)-金屬結(jié)構(gòu)中頂層透射Ag對透射光的放大增強(qiáng)以及底層反射Ag對透射光的反射補(bǔ)償作用,聚焦光斑的尺寸得到壓縮的同時(shí)深度得到了顯著提高,理論仿真中當(dāng)焦斑的FWHM為28 nm時(shí),焦斑深度可以達(dá)到20 nm以上,這相對于傳統(tǒng)納米直寫光刻結(jié)構(gòu),將焦斑的深度提升了4倍。隨后,通過相關(guān)驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)在光刻膠中獲得了FWHM為47 nm,曝光深度為25 nm的焦斑圖形,進(jìn)一步證實(shí)了該結(jié)構(gòu)在壓縮焦斑尺寸以及提升焦斑深度上的顯著優(yōu)勢。
[Abstract]:......
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61138002)
【分類號】：O53;TN305.7
【正文快照】： 0引言近年來,一系列光學(xué)奇異現(xiàn)象的研究證實(shí),表面等離子體(Surface Plasmon,SP)本身具備了短波長傳輸以及倏逝波耦合放大等獨(dú)特的光學(xué)特性[1]。通過電磁波耦合表面等離子體集群振蕩,使倏逝波的位相、振幅和傳輸行為操控成為了可能,為超衍射光學(xué)成像、光刻和傳輸?shù)难芯堪l(fā)展帶來

【共引文獻(xiàn)】

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1 尹君;基于表面等離激元的光場調(diào)控及在發(fā)光和SERS探測上的應(yīng)用[D];華中科技大學(xué);2014年

【相似文獻(xiàn)】

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2 翟維;;新疆臺蘭河一級水電站工程金屬結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[J];科技信息;2013年15期

3 王小慧;;革什扎河吉牛水電站的金屬結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[J];科協(xié)論壇(下半月);2013年11期

4 劉占國;徐學(xué)庭;陳曉軍;;金屬結(jié)構(gòu)制安的焊接質(zhì)量控制[J];科技致富向?qū)?2013年15期

5 陳關(guān)華;;毛爾蓋水電站工程金屬結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[J];科協(xié)論壇(下半月);2013年12期

6 張合理;;水電工程金屬結(jié)構(gòu)焊接質(zhì)量控制研究[J];科協(xié)論壇(下半月);2010年04期

7 薛猛;;水利閘門金屬結(jié)構(gòu)防腐處理技術(shù)[J];黑龍江科技信息;2014年20期

8 張合理;;對水利工程建設(shè)中金屬結(jié)構(gòu)和機(jī)電設(shè)備質(zhì)量管理的若干思考[J];科協(xié)論壇(下半月);2013年07期

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10 田志紅;;金屬結(jié)構(gòu)的疲勞現(xiàn)象及提高疲勞強(qiáng)度的措施[J];科技信息;2010年23期

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5 ;鞍鋼金屬結(jié)構(gòu)有限公司[A];'2009全國鋼結(jié)構(gòu)學(xué)術(shù)年會論文集[C];2009年

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9 王金諾;陳堅(jiān);董春玲;袁應(yīng)新;;集裝箱龍門起重機(jī)金屬結(jié)構(gòu)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)[A];中國機(jī)械工程學(xué)會物料搬運(yùn)學(xué)會第二屆年會論文集（三）--金屬結(jié)構(gòu)[C];1984年

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1 吳濤 譚曉鵬;分戶不分家 500萬元貨款誰來付[N];呼和浩特日報(bào)(漢);2008年

2 通訊員 陸雪梅;上海金屬結(jié)構(gòu)協(xié)會工作成效顯著[N];中國建設(shè)報(bào);2011年

3 涂樺;四川省成都市金屬結(jié)構(gòu)協(xié)會年會召開[N];中華建筑報(bào);2010年

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5 四川金屬結(jié)構(gòu)行業(yè)協(xié)會會長 劉興元;尋找破解金屬結(jié)構(gòu)行業(yè)發(fā)展困局之策[N];中華建筑報(bào);2010年

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7 記者 張向楠;向風(fēng)塔制作市場挺進(jìn)[N];中國石油報(bào);2005年

8 李文;東莞建筑金屬結(jié)構(gòu)行業(yè)協(xié)會加強(qiáng)行業(yè)自律[N];中華建筑報(bào);2008年

9 路有成;重機(jī)金屬結(jié)構(gòu)焊接技術(shù)提升在即[N];中國工業(yè)報(bào);2007年

10 楊小川;挺起鋼鐵脊梁[N];中國水利報(bào);2005年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前4條

1 翟翔;金屬—介質(zhì)—金屬結(jié)構(gòu)中表面等離子特性研究及器件設(shè)計(jì)[D];湖南大學(xué);2013年

2 彭福明;纖維增強(qiáng)復(fù)合材料加固修復(fù)金屬結(jié)構(gòu)界面性能研究[D];西安建筑科技大學(xué);2005年

3 徐健寧;智能金屬結(jié)構(gòu)熔焊成型技術(shù)研究[D];南昌大學(xué);2009年

4 馮艷;埋入金屬結(jié)構(gòu)的光纖Bragg光柵傳感性能研究[D];南昌大學(xué);2009年

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1 徐翊杰;建筑金屬結(jié)構(gòu)行業(yè)平面板結(jié)構(gòu)工程計(jì)算系統(tǒng)的研究與開發(fā)[D];重慶大學(xué);2012年

2 王華林;金屬結(jié)構(gòu)疲勞破壞的計(jì)算機(jī)仿真分析[D];武漢科技大學(xué);2005年

3 羅蓉;網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下建筑金屬結(jié)構(gòu)產(chǎn)品設(shè)計(jì)系統(tǒng)的研究與實(shí)現(xiàn)[D];重慶大學(xué);2004年

4 宋君;建筑金屬結(jié)構(gòu)產(chǎn)品制造業(yè)分布式庫存優(yōu)化調(diào)度研究[D];重慶大學(xué);2005年

5 姚文方;采光頂金屬結(jié)構(gòu)計(jì)算機(jī)輔助分析系統(tǒng)的研究與應(yīng)用[D];重慶大學(xué);2008年

6 蘇玉闊;JIER金屬結(jié)構(gòu)公司ERP系統(tǒng)的研究與應(yīng)用[D];山東大學(xué);2010年

7 羅勤生;集裝箱裝卸橋金屬結(jié)構(gòu)疲勞裂紋控制與管理[D];上海海事大學(xué);2006年

8 曾宇丹;基于網(wǎng)絡(luò)的建筑金屬結(jié)構(gòu)門窗產(chǎn)品計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)[D];重慶大學(xué);2002年

9 唐婭玲;基于無線傳感技術(shù)和GPRS的金屬結(jié)構(gòu)應(yīng)力遠(yuǎn)程監(jiān)測系統(tǒng)[D];武漢理工大學(xué);2011年

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本文編號：1353930