本文關鍵詞：微波技術在多晶硅制備過程中應用研究　出處：《真空電子技術》2016年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：多晶硅的制備過程是光伏產業(yè)鏈的重要組成部分,本文在概述微波與材料相互作用機理基礎上,以硅材料中多晶硅制備過程為例,提出多晶硅生產中現(xiàn)有方法存在的問題,并對微波技術在多晶硅制備中的應用,以及微波反應器研究進展進行了闡述,最后展望了微波技術在多晶硅制備過程的應用前景。
[Abstract]:The preparation process of polycrystalline silicon is an important part of photovoltaic industry chain, based on the overview of the interaction mechanism between microwave and material, polysilicon silicon material preparation process as an example, the existing method of polysilicon production, and the application of microwave technology in preparation of polysilicon, and the research progress of microwave reaction is discussed, finally discusses the application prospect of microwave technology in the preparation process of polysilicon.
【作者單位】： 昆明理工大學非常規(guī)冶金教育部重點實驗室;昆明理工大學工程訓練中心;昆明冶研新材料股份有限公司;
【分類號】：TN304.12;TN015
【正文快照】： 所謂“微波”,與無線電波、紅外線、可見光一樣,通常是指頻率從3×108到3×1011 Hz的電磁波,即波長在1m到1mm之間的電磁波。根據(jù)電磁波在真空中的傳播速度c與頻率f、波長λ之間的關系:λ=cf(1)可見,微波的頻率很高(介于超短波和紅外線之間),波長很短;顧名思義稱為微波[1]。微

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：1343667