本文關(guān)鍵詞：SnO和Mn-SnO薄膜制備及其物性研究

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【摘要】：隨著現(xiàn)代信息技術(shù)的快速發(fā)展,大規(guī)模集成電路元件的尺寸越來(lái)越小,逐漸達(dá)到納米量級(jí),傳統(tǒng)的電子工藝已經(jīng)不能滿足信息技術(shù)超高速、超寬帶和超大工藝的發(fā)展要求,研究者們開(kāi)始設(shè)想制備一種將電、磁集于一體的半導(dǎo)體器件,能夠同時(shí)利用電子的自旋自由度和電荷自由度進(jìn)行信息的加工、處理和儲(chǔ)存。稀磁半導(dǎo)體因?yàn)榭梢酝瑫r(shí)利用電子的電荷和自旋屬性,而受到人們的廣泛關(guān)注。它是將3d過(guò)渡族或稀土族磁性金屬離子引入到半導(dǎo)體材料中,使其成為具有電性能和磁性能的新型半導(dǎo)體材料。自旋電子學(xué)涉及的領(lǐng)域很廣,其中在材料方面,為實(shí)現(xiàn)自旋電子學(xué)的目標(biāo),需要將自旋極化的電流注入半導(dǎo)體材料當(dāng)中以實(shí)現(xiàn)信息的處理功能,因此關(guān)鍵問(wèn)題是制備出具有高居里溫度和高自旋極化率的稀磁半導(dǎo)體材料。對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行過(guò)渡族金屬元素?fù)诫s是目前制備和研究稀磁半導(dǎo)體的主要方法。例如在Mn摻雜GaAs中就取得了很大的進(jìn)展,但是此稀磁半導(dǎo)體的鐵磁居里溫度偏低,無(wú)法滿足室溫鐵磁性的要求,限制了其應(yīng)用,因此尋求具有室溫鐵磁性的稀磁半導(dǎo)體成為研究的熱點(diǎn)。我們通過(guò)對(duì)P型半導(dǎo)體的研究發(fā)現(xiàn),現(xiàn)有的Si基P型半導(dǎo)體已經(jīng)滿足不了稀磁半導(dǎo)體性能的追求,所以尋找一種具有高穩(wěn)定性和高遷移率的P型半導(dǎo)體成為了現(xiàn)階段微電子學(xué)的一個(gè)熱門方向。通過(guò)我們的調(diào)研發(fā)現(xiàn),SnO作為一種P型半導(dǎo)體材料引起了廣泛的關(guān)注,SnO的遷移率高于一般的P型半導(dǎo)體材料,比起ZnO基的P型半導(dǎo)體材料,SnO的穩(wěn)定性非常好。因此我們制備了高質(zhì)量的SnO薄膜,并對(duì)其物理性質(zhì)進(jìn)行了研究；制備了高質(zhì)量的Mn摻雜SnO稀磁半導(dǎo)體薄膜,并對(duì)其物理性質(zhì)進(jìn)行了研究；主要工作概括如下：1.我們用SnO靶在一定的氧分壓下生長(zhǎng)SnO薄膜,并且用Sn靶在不同的氧分壓下生長(zhǎng)SnO薄膜。這兩種方法制備的薄膜襯底都是YSZ；使用SnO靶在ITO(111)外延生長(zhǎng)了SnO薄膜,并通過(guò)YSZ-ITO-SnO-Al的異質(zhì)結(jié)構(gòu),對(duì)SnO的阻變性質(zhì)進(jìn)行了研究,研究發(fā)現(xiàn)SnO不但可以作為一種P型半導(dǎo)體材料,而且具有阻變效應(yīng)。2.我們制備了一系列Mn含量不同的Mn-SnO薄膜,對(duì)這一系列Mn摻雜SnO薄膜進(jìn)行了磁性和光學(xué)性質(zhì)的測(cè)量,發(fā)現(xiàn)可以利用束縛磁極化子模型很好地解釋隨著Mn摻雜量的增加,樣品室溫鐵磁性出現(xiàn)了先減小后增大的現(xiàn)象；通過(guò)透射譜測(cè)量,發(fā)現(xiàn)吸收邊會(huì)有一個(gè)先紅移后藍(lán)移的情況,所以我們可以通過(guò)控制Mn摻雜量來(lái)調(diào)節(jié)帶隙的寬度。同時(shí)因?yàn)檫@種材料的電阻率很大,可以作為一種稀磁絕緣體材料使用,而就其結(jié)構(gòu)而言相信與SnO等一些半導(dǎo)體的結(jié)合形成同質(zhì)結(jié)或異質(zhì)結(jié)會(huì)相對(duì)較為容易,并且對(duì)波長(zhǎng)長(zhǎng)于500nm的光的透過(guò)率在80%以上,可以作為光學(xué)器件應(yīng)用。我們認(rèn)為Mn摻雜SnO薄膜作為一種稀磁半導(dǎo)體材料在自旋電子學(xué)器件或是其他方面會(huì)有很好的應(yīng)用前景。
【學(xué)位授予單位】：山東大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TN304

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 許震時(shí);SnO和Mn-SnO薄膜制備及其物性研究[D];山東大學(xué);2016年

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本文編號(hào)：1281367