本文關(guān)鍵詞：納米壓印設(shè)備的優(yōu)化改進

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【摘要】：如今納米技術(shù)在生活中得到廣泛的應(yīng)用,與之相關(guān)的納米加工技術(shù)也越來越受到人們的重視。傳統(tǒng)的光刻技術(shù)由于分辨率和價格等原因限制,其發(fā)展已到瓶頸,而在上世界九十年代產(chǎn)生的納米壓印技術(shù)使科研人員找到了納米加工技術(shù)的新方法。在這二十年間,經(jīng)過科研人員的不斷完善,納米壓印技術(shù)形成了較為系統(tǒng)的體系,使得納米壓印技術(shù)走向商業(yè)化、工業(yè)化成為可能。本文以本課題組原有納米熱壓印設(shè)備為基礎(chǔ),通過分析納米壓印過程中所表現(xiàn)的不足,以及查閱國內(nèi)外相關(guān)技術(shù)的發(fā)展,設(shè)計了具有實時監(jiān)控的溫度控制系統(tǒng),并對原有硬件和軟件系統(tǒng)進行了優(yōu)化設(shè)計,使原有設(shè)備的性能和穩(wěn)定性得到了提升。本文以納米壓印設(shè)備的優(yōu)化和改進為目的,主要完成以下工作:(1)設(shè)計了集加熱、冷卻和溫度采集功能于一體的溫控板,通過對其內(nèi)部結(jié)構(gòu)參數(shù)的計算以及仿真完成其功能的驗證;(2)對于溫度控制系統(tǒng)的硬件進行了篩選和計算,選擇出合適的芯片和材料構(gòu)建系統(tǒng),包括使用K型熱電偶和AD595實現(xiàn)溫度采集,使用光耦芯片、固態(tài)繼電器和加熱棒實現(xiàn)加熱功能,使用L293D和水泵實現(xiàn)冷卻功能;(3)使用Labview軟件編寫上位機系統(tǒng),實現(xiàn)了溫度的實時采集和控制,使得控制界面更加人性化;(4)通過使用PID算法實現(xiàn)了對溫度的準確調(diào)控;(5)重新設(shè)計設(shè)備的硬件控制箱,提高其抗干擾能力;(6)進行了溫度和壓印實驗,對系統(tǒng)的功能性和穩(wěn)定性進行了驗證。
【學(xué)位授予單位】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TN305.7
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本文編號：1262694