本文關(guān)鍵詞：納米壓印設(shè)備的優(yōu)化改進(jìn)

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【摘要】：如今納米技術(shù)在生活中得到廣泛的應(yīng)用,與之相關(guān)的納米加工技術(shù)也越來越受到人們的重視。傳統(tǒng)的光刻技術(shù)由于分辨率和價(jià)格等原因限制,其發(fā)展已到瓶頸,而在上世界九十年代產(chǎn)生的納米壓印技術(shù)使科研人員找到了納米加工技術(shù)的新方法。在這二十年間,經(jīng)過科研人員的不斷完善,納米壓印技術(shù)形成了較為系統(tǒng)的體系,使得納米壓印技術(shù)走向商業(yè)化、工業(yè)化成為可能。本文以本課題組原有納米熱壓印設(shè)備為基礎(chǔ),通過分析納米壓印過程中所表現(xiàn)的不足,以及查閱國(guó)內(nèi)外相關(guān)技術(shù)的發(fā)展,設(shè)計(jì)了具有實(shí)時(shí)監(jiān)控的溫度控制系統(tǒng),并對(duì)原有硬件和軟件系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),使原有設(shè)備的性能和穩(wěn)定性得到了提升。本文以納米壓印設(shè)備的優(yōu)化和改進(jìn)為目的,主要完成以下工作:(1)設(shè)計(jì)了集加熱、冷卻和溫度采集功能于一體的溫控板,通過對(duì)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)參數(shù)的計(jì)算以及仿真完成其功能的驗(yàn)證;(2)對(duì)于溫度控制系統(tǒng)的硬件進(jìn)行了篩選和計(jì)算,選擇出合適的芯片和材料構(gòu)建系統(tǒng),包括使用K型熱電偶和AD595實(shí)現(xiàn)溫度采集,使用光耦芯片、固態(tài)繼電器和加熱棒實(shí)現(xiàn)加熱功能,使用L293D和水泵實(shí)現(xiàn)冷卻功能;(3)使用Labview軟件編寫上位機(jī)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了溫度的實(shí)時(shí)采集和控制,使得控制界面更加人性化;(4)通過使用PID算法實(shí)現(xiàn)了對(duì)溫度的準(zhǔn)確調(diào)控;(5)重新設(shè)計(jì)設(shè)備的硬件控制箱,提高其抗干擾能力;(6)進(jìn)行了溫度和壓印實(shí)驗(yàn),對(duì)系統(tǒng)的功能性和穩(wěn)定性進(jìn)行了驗(yàn)證。
【學(xué)位授予單位】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TN305.7
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本文編號(hào)：1262694