本文關鍵詞：單晶藍寶石的摩擦化學機械拋光

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【摘要】：為揭示拋光過程中SiO_2磨粒與藍寶石的摩擦化學反應機理,結合摩擦化學理論和納米壓痕試驗方法,采用有限元法模擬納米壓頭壓入與卸載后藍寶石表面的應力分布情況.數值模擬結果表明:當SiO_2磨粒與藍寶石的接觸應力為5~15GPa時,發(fā)生固相反應所需活化能約為14.46kJ/mol,反應速率常數約為0.07~0.23μm/min;在摩擦化學反應過程中,SiO_2磨粒與藍寶石的接觸半徑為15~21nm,其變形量為6.88~10.22nm.低載荷納米壓痕試驗結果表明:忽略壓頭與SiO_2磨粒的硬度、幾何形狀等影響因素,單顆SiO_2磨粒上的作用力小于0.7 mN,其微觀表面粗糙度R_t=38.19nm及R_a=3.62nm.
【作者單位】： 浙江工業(yè)大學特種裝備制造與先進加工技術教育部重點實驗室;
【基金】：國家科技支撐計劃(2011BAK15B07) 國家自然科學基金項目(50705088) 教育部科學技術研究重點項目(210088) 浙江省科技廳公益性技術應用研究計劃項目(2013C31024)資助
【分類號】：TG731;TN312.8
【正文快照】： 高亮度發(fā)光二極管(Light-Emitting Diode,LED)已廣泛用于節(jié)能照明中[1].藍寶石是常用的LED襯底材料,對其進行超精密加工的方法是以化學機械拋光為主,并使用SiO2、Fe2O3、MgO以及NaOH等磨粒,其中SiO2的加工效率最高[2].這些磨粒均可與Al2O3發(fā)生固相反應,分別生成富鋁紅柱石(Al6

【相似文獻】

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1 張蓓;趙雪丹;吳平;王建國;宋西平;;鎳-鈦合金彈性模量的測定[J];理化檢驗(物理分冊);2007年09期

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本文編號：1247097