本文關鍵詞：柔性電路板制造過程自動監(jiān)控與智能分析系統(tǒng)的設計與實現

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【摘要】：制造過程自動監(jiān)控是工業(yè)自動化發(fā)展的必然趨勢,對保證產品質量的穩(wěn)定性提供了方法,是各類生產制造企業(yè)關注的重點。在集成電路制造產業(yè)中,超高精密柔性電路板(基板)的制造技術是實現高密度倒裝芯片的關鍵技術之一。超高精密柔性基板制造過程中關鍵工序的過程穩(wěn)定性將直接影響高密度超薄柔性電路板的質量。課題研究了超高精密柔性基板制造過程關鍵工序的自動監(jiān)控和智能分析方法與系統(tǒng),主要工作如下:(1)分析了超高精密柔性基板制造過程的關鍵工序及其對應的關鍵物理參數;(2)對超高精密柔性基板制造過程,設計了基于過程關鍵物理參數如線寬、線距、孔徑、圓度、銅厚和工序不良率的單變量統(tǒng)計控制方法,對制造過程穩(wěn)定性進行監(jiān)控和評價;對超高精密柔性電路板制造過程中多耦合參數的關鍵工序,設計了基于多變量統(tǒng)計控制方法,對工序的波動情況進行評價和監(jiān)控;實驗表明兩種監(jiān)控方案能有效識別數據中的異常情況。(3)對超高精密柔性基板制造過程中的復雜異常情況,基于BP神經網絡,建立了控制圖異常模式識別網絡,同時實現控制圖中模式的識別和異常模式特征參數的估計;實驗表明該算法能夠有效識別異常模式及其有效地估計異常模式所對應的特征參數。(4)以MFC為平臺,開發(fā)了柔性基板制造過程自動監(jiān)控與智能分析系統(tǒng),實現了各功能模塊,并進行了實例運行測試。本研究為超高精密柔性基板制造過程提供了實現其自動監(jiān)控與智能分析的思路、方法和技術的參考。
【學位授予單位】：華南理工大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2016
【分類號】：TN405;TP277

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