本文關(guān)鍵詞：光斑重疊率對(duì)飛秒激光硅材料表面著色的影響

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【摘要】：研究了光斑重疊率對(duì)飛秒激光硅材料表面著色的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:飛秒激光在硅材料表面著色是由于在其表面誘導(dǎo)出了周期納米條紋結(jié)構(gòu);在飛秒激光功率一定的情況下,較高和較低的光斑重疊率都不能實(shí)現(xiàn)著色;在選定激光功率范圍內(nèi),光斑重疊率越大,呈現(xiàn)的顏色越豐富,著色效率越高。另外反射率的測(cè)量結(jié)果表明著色后樣品在可見光范圍內(nèi)反射率下降了50%左右。得到了飛秒激光硅材料表面著色的參數(shù)窗口,為飛秒激光半導(dǎo)體著色的推廣提供了技術(shù)參考。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)場(chǎng)激光物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(11374316)
【分類號(hào)】：TN304.12;TN24
【正文快照】： 1引言硅材料廣泛應(yīng)用在集成電路[1]、探測(cè)器[2]、傳感器[3]、微機(jī)電系統(tǒng)[4]和太陽能電池[5-6]等領(lǐng)域。對(duì)硅材料表面進(jìn)行著色不僅可以提高探測(cè)器效率[7],擴(kuò)寬傳感器光譜響應(yīng)范圍[8],還可以裝飾硅材料器件外觀[9]。例如,在實(shí)現(xiàn)光伏建筑一體化時(shí),需要將太陽能電池直接建造在建筑

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本文編號(hào)：1207241