本文關(guān)鍵詞：高精度六維激光測(cè)量系統(tǒng)誤差補(bǔ)償算法研究

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【摘要】：根據(jù)極大規(guī)模集成電路制造對(duì)光刻物鏡中敏感光學(xué)元件調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)高精度的調(diào)整要求,研究設(shè)計(jì)了一套基于雙頻激光干涉儀的高精度六自由度位姿檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)。但由于雙頻激光干涉儀是一種線性增量式的測(cè)長(zhǎng)儀器,其固有的機(jī)械安裝誤差及運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在工作過(guò)程中引入的傾斜或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)都將導(dǎo)致測(cè)量光程的變化而產(chǎn)生阿貝誤差與余弦誤差。為此,根據(jù)系統(tǒng)測(cè)量原理,采用解析法基于空間齊次變換建立了系統(tǒng)誤差補(bǔ)償數(shù)學(xué)模型,并深入分析了裝調(diào)誤差對(duì)測(cè)量精度的影響,實(shí)現(xiàn)了調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)六自由度運(yùn)動(dòng)的高精度測(cè)量。
【作者單位】： 長(zhǎng)沙湘計(jì)海盾科技有限公司;中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 雙頻激光干涉儀 六自由度位姿檢測(cè) 誤差補(bǔ)償 齊次變換
【基金】：國(guó)家重大科技專項(xiàng)02專題(2009ZX02205)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 1引言隨著集成電路特征線寬的不斷減小,極大規(guī)模集成電路制造所需光刻物鏡的精度要求越來(lái)越高[1]。在投影光刻物鏡的裝調(diào)及使用過(guò)程中,為了獲得良好的光學(xué)性能,消除物鏡內(nèi)部環(huán)境變化對(duì)成像質(zhì)量的影響,需要對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的各種像差進(jìn)行補(bǔ)償[2-3]。常用的補(bǔ)償方法是調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)中

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條

1 ;不用預(yù)熱的雙頻激光干涉儀[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;1971年04期

2 馮其波，梁晉文，田芊;雙頻激光干涉儀高精度測(cè)量大型工件內(nèi)外徑系統(tǒng)的研制[J];儀器儀表學(xué)報(bào);1995年02期

3 張汝鵬,呂曉明,趙轉(zhuǎn)萍;空間運(yùn)動(dòng)目標(biāo)激光跟蹤測(cè)量系統(tǒng)建模研究[J];實(shí)用測(cè)試技術(shù);2000年06期

4 ;[J];;年期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 劉洪霞;趙洪濤;;利用雙頻激光干涉儀配合修理、校準(zhǔn)繪圖機(jī)[A];2010航空試驗(yàn)測(cè)試技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2010年

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本文編號(hào)：1068915