本文關(guān)鍵詞：濾波正弦相位調(diào)制干涉測(cè)量技術(shù)誤差分析

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【摘要】：基于正弦相位調(diào)制干涉測(cè)量是當(dāng)前國(guó)際前沿的高精度光學(xué)測(cè)量技術(shù),在位移、形貌等測(cè)量中得到廣泛應(yīng)用。通常采用傅里葉變換進(jìn)行頻譜分析提取相位參數(shù),測(cè)量中需要處理龐大的數(shù)據(jù),測(cè)量?jī)x器難以快速獲得測(cè)量結(jié)果,嚴(yán)重限制了正弦相位調(diào)制干涉的使用范圍。為了降低傳統(tǒng)頻譜分析處理信號(hào)的復(fù)雜性,采用了濾波技術(shù)處理相位信息。在數(shù)據(jù)處理時(shí)直接采用低通濾波器濾除高次諧波成分,通過誤差分析可知運(yùn)用濾波技術(shù)處理干涉信號(hào),公式本身引起的誤差非常小,最大僅為0.9%;當(dāng)調(diào)制頻率波動(dòng)為0.01Hz時(shí),位移誤差最大為0.1nm,誤差可以忽略不計(jì)。
【作者單位】： 六盤水師范學(xué)院物理與電子科學(xué)系;六盤水光機(jī)電工程中心;重慶師范大學(xué)物理與電子工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量 正弦相位調(diào)制 濾波 干涉 誤差
【基金】：貴州省科技廳聯(lián)合基金項(xiàng)目(No.黔科合LH字[2014]7456) 貴州省教育廳重點(diǎn)項(xiàng)目(No.2013174) 貴州省高校優(yōu)秀科技創(chuàng)新人才支持計(jì)劃項(xiàng)目(No.黔教合KY字[2013]146)
【分類號(hào)】：TN761
【正文快照】： 1986年,日本新瀉大學(xué)的O.Sasaki提出了正弦相位調(diào)制概念[1],1990年進(jìn)一步發(fā)展為電流調(diào)制半導(dǎo)體激光器測(cè)量微小位移的SPM干涉技術(shù)[2],該技術(shù)中干涉儀可選擇LED或者氣體激光器作為光源。半導(dǎo)體激光器的波長(zhǎng)調(diào)諧十分方便,只需要加入一個(gè)電流正弦信號(hào)即可完成。正弦信號(hào)的加入在干

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本文編號(hào)：1000052