發(fā)布時間：2017-09-23 09:17

  本文關(guān)鍵詞：基于模態(tài)力約束的平面電機(jī)振動抑制研究

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【摘要】：隨著輕量化設(shè)計的需求,磁懸浮平面電機(jī)結(jié)構(gòu)質(zhì)量與柔性之間矛盾凸顯,使得低階模態(tài)引起的振動將嚴(yán)重制約其納米精度的生成及控制系統(tǒng)穩(wěn)定性。目前,振動抑制研究中的控制算法較為復(fù)雜,難以有效應(yīng)用于工程實際。針對此問題,該文提出基于模態(tài)力約束的振動抑制方法。該方法針對垂向電機(jī)推力分配策略,在受力方程的基礎(chǔ)上,以模態(tài)力之和等于0作為約束,利用力分配特解使各垂向電機(jī)的模態(tài)貢獻(xiàn)相互抵消,從物理本質(zhì)層面解決柔性振動問題。針對平面電機(jī)第一階模態(tài),采用模態(tài)力約束方法后,辨識模型在該階模態(tài)處表現(xiàn)出剛體特性,且垂向z的定位誤差減小至5 nm,驗證了該方法對振動抑制的有效性。
【作者單位】： 摩擦學(xué)國家重點實驗室(清華大學(xué));
【關(guān)鍵詞】： 平面電機(jī) 振動抑制 模態(tài)力約束 電機(jī)力分配
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(51175296)~~
【分類號】：TM301.42
【正文快照】： 0引言由多個音圈電機(jī)驅(qū)動單一構(gòu)件的磁懸浮平面電機(jī),具有結(jié)構(gòu)簡單、無機(jī)械接觸、響應(yīng)速度快等優(yōu)點,已成為精密定位和快速運(yùn)動的載物平臺,并廣泛應(yīng)用于IC制造裝備中光刻機(jī)硅片臺、PCB制板、生物檢測、半導(dǎo)體檢測等高端制造裝備中[1-4]。2009年P(guān)hilips Applied Technologies、AS

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 周贛;黃學(xué)良;;三自由度永磁同步平面電機(jī)的控制策略[J];電機(jī)與控制學(xué)報;2011年04期

2 朱q，

本文編號：904442