發(fā)布時(shí)間：2017-09-22 14:21

  本文關(guān)鍵詞：陣列型紫外LED勻光照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)

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【摘要】：為實(shí)現(xiàn)曝光系統(tǒng)均勻照明的目標(biāo),基于非成像光學(xué),提出了一種陣列型模組的勻光照明系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì)方法。該方法首先通過(guò)對(duì)單模組的光學(xué)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)半發(fā)散角度和陣列間距的初步計(jì)算,然后通過(guò)Trace Pro軟件的Scheme宏語(yǔ)言和優(yōu)化引擎相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)對(duì)模組陣列間距的進(jìn)一步優(yōu)化,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的均勻照明設(shè)計(jì)。光源采用日亞紫外LED STS-DA1-2394E,陣列模組個(gè)數(shù)為5,陣列縱向間距為28 mm,橫向間距為24 mm。該光學(xué)系統(tǒng)通過(guò)Trace Pro軟件模擬仿真和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:在距光源300 mm的距離處,可實(shí)現(xiàn)目標(biāo)面積上的均勻照明,其非均勻性均小于5%,準(zhǔn)直角度約為4°。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所光電技術(shù)研發(fā)中心;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)設(shè)計(jì) 紫外曝光 勻光照明 陣列
【基金】：國(guó)家863計(jì)劃(2015AA030102,2013AA03A116) 中科院璀璨行動(dòng)計(jì)劃(KZCC-EW-102)
【分類號(hào)】：TM923.34
【正文快照】： 1引言隨著高科技電子產(chǎn)品的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,人們對(duì)其性能的要求亦越來(lái)越高,而作為其核心部件的印刷線路板(PCB)也愈發(fā)受到關(guān)注。紫外曝光機(jī)主要應(yīng)用于PCB的線路板制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)及高精密線路曝光。傳統(tǒng)的紫外曝光光源通常選取的是高壓球形汞燈[1-3],其缺點(diǎn)為壽命短、體積大,

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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7 王洪;王海宏;張小凡;張奇輝;;旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱LED均勻照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法[J];光電子.激光;2010年08期

8 朱焯煒;蘇宙平;解希順;;反射定律矢量形式在LED照明設(shè)計(jì)中的應(yīng)用[J];物理與工程;2012年02期

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中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

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本文編號(hào)：901301