目的搭建電鑄應(yīng)力實(shí)時(shí)檢測(cè)平臺(tái),評(píng)估其測(cè)量精度,并探明電化學(xué)沉積過(guò)程中鎳層平均內(nèi)應(yīng)力的變化規(guī)律。方法采用橫向剪切波前傳感器搭建電鑄應(yīng)力實(shí)時(shí)檢測(cè)平臺(tái),通過(guò)測(cè)量在鑄層應(yīng)力作用下電鑄基底彎曲的曲率半徑,利用Stoney公式計(jì)算鑄層平均應(yīng)力。采用參考球面反射鏡評(píng)估橫向剪切波前傳感器曲率半徑的測(cè)量精度,并在0.5 A/dm²電流密度下進(jìn)行電鑄應(yīng)力實(shí)時(shí)檢測(cè)實(shí)驗(yàn),對(duì)鑄層平均應(yīng)力測(cè)量極限進(jìn)行評(píng)估,同時(shí)對(duì)檢測(cè)誤差進(jìn)行分析。結(jié)果橫向波前傳感器曲率半徑測(cè)量精度為99.22%,在0.5 A/dm²電流密度下,所搭建的鑄層應(yīng)力實(shí)時(shí)檢測(cè)平臺(tái)可測(cè)量的最小厚度為5.1μm,由曲率測(cè)量波動(dòng)帶來(lái)的應(yīng)力檢測(cè)誤差為1.3 MPa。實(shí)驗(yàn)測(cè)得鑄層平均應(yīng)力隨鑄層厚度的增加而變大,當(dāng)鑄層厚度達(dá)到30μm左右,鑄層平均應(yīng)力趨于穩(wěn)定,應(yīng)力大小為79.7 MPa。同時(shí)發(fā)現(xiàn),當(dāng)鑄層厚度小于30μm時(shí),沿電鑄基底長(zhǎng)度方向的鑄層平均應(yīng)力明顯大于寬度方向鑄層平均應(yīng)力,隨鑄層厚度的增加,兩個(gè)方向的應(yīng)力大小趨于等值。結(jié)論采用橫向剪切波前傳感器搭建的電鑄應(yīng)力檢測(cè)平臺(tái),能有效對(duì)鑄層應(yīng)力進(jìn)行高精度的實(shí)時(shí)測(cè)量,為精密...

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【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)
    1.1 鑄層平均應(yīng)力檢測(cè)原理
    1.2 電鑄基底曲率半徑測(cè)量方法
    1.3 實(shí)驗(yàn)條件及參數(shù)
    1.4 實(shí)驗(yàn)方法
2 結(jié)果及分析
    2.1 曲率半徑測(cè)量精度評(píng)估
    2.2 曲率半徑測(cè)量極限評(píng)估
    2.3 電鑄應(yīng)力實(shí)時(shí)檢測(cè)誤差分析
    2.4 鑄層平均應(yīng)力與鑄層厚度的關(guān)系
3 結(jié)論



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