通過電磁學有限元模型,對barber電極偏置的線性各向異性磁阻傳感單元的電流和磁場分布進行了仿真計算,研究了磁阻單元中電流產(chǎn)生的縱向和橫向磁場對傳感器的自偏置效應(yīng)。數(shù)值仿真結(jié)果表明,電流為1 mA時產(chǎn)生的橫向自偏置磁場約8 A/m。同時,制備了差分輸出的磁阻橋,獲得了隨磁場線性輸出的電壓,器件的靈敏度約為5.6 mV·V^-1·(A/m)^-1,線性度優(yōu)于1.3%。同時,外磁場方向電流為1 mA時,自偏置磁場大小為8～84 A/m,該值大小強烈依賴于電極角度,與理論仿真結(jié)果趨勢基本一致。研究結(jié)果有助于進一步優(yōu)化線性磁阻傳感器,獲得高性能的傳感器件。

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【文章目錄】：
1 實驗過程
    1.1 電極設(shè)計
    1.2 線性傳感器制備及測試
    1.3 有限元仿真
2 結(jié)果與討論
    2.1 仿真結(jié)果及討論
    2.2 測試結(jié)果及討論
3 結(jié)論



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