隨著當(dāng)今科技的飛速發(fā)展,MEMS（Micro Electro Mechanical System）加速度傳感器成為當(dāng)代世界中不可或缺的一項重要成果,在當(dāng)今社會各個領(lǐng)域中發(fā)揮著巨大的作用,有著無法替代的地位與價值。MEMS加速度傳感器作為當(dāng)今世界高精尖科技的代表,也能為國家各個領(lǐng)域創(chuàng)造實際價值。MEMS技術(shù)的日益發(fā)展使得微加速度計的占用體積越來越小,精度卻能越來越高,這讓很多原本無法想象的事成為了可能,無論是民用的手機中,商用的石油勘探中,甚至是軍用的導(dǎo)彈中,都有利用到MEMS加速度傳感器的技術(shù)。本論文針對石油勘探用MEMS加速度傳感器全數(shù)字輸出五階靜電力系統(tǒng)分析研究了其三個模塊:1)對信號檢測模塊進(jìn)行物理傳導(dǎo)分析,從輸入加速度信號轉(zhuǎn)化為電容變化大小,再從電容變化通過讀取電路轉(zhuǎn)變成電壓變化,最后系統(tǒng)的輸出以靜電力的形式反饋到敏感質(zhì)量塊。進(jìn)行數(shù)學(xué)公式推導(dǎo),并分析了敏感質(zhì)量塊的運動方程階躍響應(yīng);2)從Sigma-Delta調(diào)制器的發(fā)展歷程開始,分析其作用原理,利用MATLAB的Simulink建模平臺完成了整個信號檢測模塊搭配Sigma-Dclta調(diào)制器的三階至五階系統(tǒng)設(shè)計、參數(shù)調(diào)整與建模仿... 

【文章來源】：湘潭大學(xué)湖南省

【文章頁數(shù)】：67 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．１地震波檢測原理圖［６］??

圖１．?３比利時根特大學(xué)無束縛ＭＥＭＳ傳感器模型圖［１°］??２０１０年，Ｃｏｌｉｂｉ＾ｓ公司的研究成果中將ＭＥＭＳ傳感器系統(tǒng)建模從采樣器兩??端分為模擬電路與數(shù)字電路部分如圖１．４所示，指出了之后的研究工作的正確道??路１１１］。但是沒有給出具體的建模模型。??ｆｐｃ??｜?＾１＾ｉ??、、、??????＇、、?????？一，’??Ａｎａｌｏｇ?Ｄｉｇｉｔａｌ??圖１．?４?Ｃｏｌｉｂｒｙｓ公司ＭＥＭＳ系統(tǒng)模型框架圖［１１］??２０１１年，海德拉巴國際信息技術(shù)研宄所研宄了使用Ｍａｓｈ結(jié)構(gòu)的ＭＥＭＳ加??速度傳感器四階系統(tǒng)，給出／?Ｍａｓｈ結(jié)構(gòu)Ｓｉｇｍａ－Ｄｅｌｔａ調(diào)制器的模型如圖１．５所??示［ｕ］。但是這種結(jié)構(gòu)對信號檢測模塊的參數(shù)變化很敏感，容易導(dǎo)致信號泄露。??Ａ＇（ｚ）??１?Ｊ＾１（Ｚ）????＾Ｈ?＂ｉ（ｚ）?Ｉ??ｆ?」?丄佐（ｚ）?Ｖ??Ｈ?＾（ｚ）??圖１．?５海德拉巴國際信息技術(shù)研究所Ｍａｓｈ結(jié)構(gòu)調(diào)制器建模圖Ｄ２］??３??

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【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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[2]帶通∑-Δ ADC中數(shù)字后處理電路的設(shè)計[D]. 張俊.東南大學(xué) 2016
[3]數(shù)字下變頻的設(shè)計與實現(xiàn)[D]. 周曉樂.西安電子科技大學(xué) 2015
[4]MEMS加速度傳感器及其調(diào)理電路測試技術(shù)研究[D]. 張寒.蘇州大學(xué) 2014
[5]低功耗高性能音頻Sigma Delta調(diào)制器設(shè)計[D]. 劉云康.北京工業(yè)大學(xué) 2014
[6]MEMS加速度傳感器讀出電路設(shè)計[D]. 張文杰.湘潭大學(xué) 2013
[7]閉環(huán)電容式加速度計自檢測電路設(shè)計[D]. 李山.哈爾濱理工大學(xué) 2013
[8]低功耗16位精度Sigma-Delta調(diào)制器設(shè)計[D]. 李媛紅.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2011
[9]MASH結(jié)構(gòu)Sigma-Delta調(diào)制器的設(shè)計[D]. 孫冠男.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2011
[10]基帶可變速率調(diào)制解調(diào)器的設(shè)計[D]. 蘇明月.南京理工大學(xué) 2010



本文編號：3613809