由于加工和測(cè)量技術(shù)的不斷提高,其對(duì)于儀器設(shè)備精度和穩(wěn)定性的要求愈加嚴(yán)格。而限制這些儀器設(shè)備的精度和穩(wěn)定性的最大因素則是來自環(huán)境的振動(dòng),尤其是其中的低頻振動(dòng)。針對(duì)這樣的問題,論文中提出了一種基于音圈電機(jī)的主被動(dòng)復(fù)合隔振系統(tǒng)。該隔振系統(tǒng)可以應(yīng)用在超精密加工、測(cè)量領(lǐng)域以發(fā)揮儀器設(shè)備應(yīng)有的優(yōu)良性能。本文首先結(jié)合面電流法和鏡像法推導(dǎo)永磁體氣隙磁場(chǎng)的分布,建立了空氣間隙當(dāng)中的磁感應(yīng)強(qiáng)度的解析計(jì)算公式。通過對(duì)算例Halbach陣列音圈電機(jī)的解析計(jì)算與ANSOFT的仿真數(shù)值對(duì)比驗(yàn)證了所推導(dǎo)公式的正確性。然后基于解析公式對(duì)音圈電機(jī)的磁軛厚度、氣隙厚度、永磁體寬度三個(gè)尺寸參數(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì),獲得了合適的尺寸參數(shù)。改進(jìn)設(shè)計(jì)后的音圈電機(jī)磁場(chǎng)分布和ANSOFT仿真結(jié)果比較,磁感應(yīng)強(qiáng)度在整個(gè)計(jì)算區(qū)域內(nèi)的誤差都小于5%,力常數(shù)誤差只有6.2%,驗(yàn)證了改進(jìn)設(shè)計(jì)結(jié)果的正確性。然后本文通過對(duì)單自由度的被動(dòng)隔振和主動(dòng)隔振原理的分析,確定主動(dòng)隔振和被動(dòng)隔振的各自特點(diǎn)。分析主動(dòng)控制選擇不同反饋量所產(chǎn)生的隔振特性。在以上分析之上,設(shè)計(jì)了單一自由度基于音圈電機(jī)的主動(dòng)隔振系統(tǒng),并且通過仿真使得該隔振系統(tǒng)的性能得到驗(yàn)證。最后在單自由度隔振平... 

【文章來源】：上海交通大學(xué)上海市 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：146 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

Tokkyokiki公司產(chǎn)品

圖 1-7 Tokkyokiki 公司產(chǎn)品隔振效果圖olation performance of product of Tokkyoki動(dòng)隔振產(chǎn)品則是以 TMC 公司的產(chǎn)品的主動(dòng)隔振產(chǎn)品，并不是之前所提的

圖 1-8 TMC 主動(dòng)隔振產(chǎn)品Fig. 1-8 Product of TMC Company動(dòng)隔振致動(dòng)器的方式是國內(nèi)外廠商最常此類產(chǎn)品通常音圈電機(jī)與被動(dòng)隔振器并簧等。圖 1-9（a）是 Newport 公司的產(chǎn)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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[2]盤式繞組旋轉(zhuǎn)式音圈電機(jī)的研究[D]. 張波.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2014
[3]精密主動(dòng)隔振臺(tái)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)與研究[D]. 王君鋒.華中科技大學(xué) 2013
[4]結(jié)構(gòu)振動(dòng)半主動(dòng)控制及其實(shí)用性研究[D]. 趙林.天津大學(xué) 2003



本文編號(hào)：3585741