制備不同SiC含量的樹脂金剛石線,并進行硅片切割試驗。通過記錄切割過程中的扭矩和加切情況,研究不同SiC添加量對樹脂金剛石線切割能力的影響。結(jié)果表明:當(dāng)樹脂液中SiC添加量增加時,樹脂金剛石線的切割能力逐漸增強;當(dāng)SiC超過一定添加量時,切割能力有所降低。試驗中,樹脂液中SiC的添加量為600 g/L時,樹脂金剛石線切割硅片產(chǎn)生的切割扭矩為96 N·m,且無加切情況,其切割能力最高;此時樹脂固化后的邵氏硬度為91 HD,樹脂層中的SiC分散均勻,無氣孔等缺陷。 

【文章來源】：金剛石與磨料磨具工程. 2020,40(05)北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【部分圖文】：

試驗中采用的金剛石微粉的照片

SiC微粉常作為磨具中樹脂結(jié)合劑的添加劑使用,能夠?qū)渲鸬皆黾訌姸�、提高硬度的作用[14]。樹脂層的硬度會影響其對金剛石顆粒的把持力,造成樹脂金剛石線退讓性的改變,使樹脂金剛石線在切割過程中金剛石顆粒的前角發(fā)生變化,從而對切割時的切割扭矩和加切時間產(chǎn)生影響[3]。為此,制備并測量了不同SiC添加量下樹脂固化后的邵氏硬度試樣,檢測結(jié)果如圖5所示。由圖5可知:隨著SiC添加量的增加,樹脂固化后的邵氏硬度逐漸增高。當(dāng)SiC添加量為600 g/L時硬度最高,為91 HD;當(dāng)SiC添加量增大到800 g/L時,硬度又有所降低。這可能是由于隨著樹脂層中SiC添加量的增加,樹脂在固化后硬度上升,樹脂層對金剛石顆粒的把持力增大,樹脂金剛石線的退讓性降低,從而造成樹脂金剛石線在硅片切割過程中金剛石顆粒的前角絕對值減小,產(chǎn)生的切割力降低,最終導(dǎo)致樹脂金剛石線在切割硅片時產(chǎn)生的切割扭矩減小和加切時間縮短,增強了樹脂金剛石線的切割能力。但是,過高的SiC添加量也會導(dǎo)致樹脂層的硬度下降,樹脂金剛石線的退讓性增強,最終降低樹脂金剛石線的切割能力。

(5)固化:將半固化的樹脂金剛石線收到線輥上進行加熱處理,使樹脂層進一步固化,以提高樹脂層的強度。試驗中最高固化溫度185 ℃,固化2 h。Tab. 3 Addition of SiC and diamond in resin slurry 試樣編號 SiC的添加量ρ1 / (g/L) 金剛石的添加量ρ2 / (g/L) 1 200 213 2 400 231 3 600 250 4 800 267

【參考文獻】：
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